[發(fā)明專利]一種拉晶爐

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011386508.1
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN112481693A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 全弘湧
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司;西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 胡影;李紅標(biāo)

1.一種拉晶爐，其特征在于，包括：

爐體，所述爐體內(nèi)限定有腔室，所述爐體的頂部設(shè)有與所述腔室連通的拉晶口，所述爐體的底壁設(shè)有與所述腔室連通的出口；

基座，所述基座設(shè)在所述腔室內(nèi)；

坩堝，所述坩堝設(shè)在所述基座上；

阻擋結(jié)構(gòu)，所述阻擋結(jié)構(gòu)位于所述腔室中，所述阻擋結(jié)構(gòu)鄰近所述爐體的底壁設(shè)置且與所述爐體的底壁間隔開，所述阻擋結(jié)構(gòu)位于所述出口的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)為板狀，所述阻擋結(jié)構(gòu)的軸線與所述出口的軸線共線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)沿所述出口的軸線方向可移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拉晶爐，其特征在于，還包括：

支撐架，所述支撐架的上端與所述阻擋結(jié)構(gòu)相連，所述支撐架的下端與所述爐體的底壁相連，所述支撐架在所述出口的軸線方向上的長度可調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述出口在第一平面上的正投影位于所述阻擋結(jié)構(gòu)在所述第一平面上的正投影內(nèi)，所述第一平面與所述爐體的軸線垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)的底側(cè)與所述出口相應(yīng)的位置設(shè)有容納腔體。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拉晶爐，其特征在于，所述出口在第一平面上的正投影位于所述容納腔體在所述第一平面上的正投影內(nèi)，所述第一平面與所述爐體的軸線垂直。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述爐體的底部設(shè)有多個所述出口，每個所述出口的上方分別設(shè)置一個所述阻擋結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的拉晶爐，其特征在于，多個所述出口沿所述爐體的周向間隔開分布。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的拉晶爐，其特征在于，所述爐體的外部分別設(shè)有支管和匯流管，每個所述出口分別與對應(yīng)的所述支管的一端連通，每個所述支管的另一端分別與所述匯流管連通。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述坩堝的外側(cè)設(shè)有加熱器，所述加熱器與所述爐體的內(nèi)壁之間設(shè)有隔熱材料；和/或

所述基座的外側(cè)壁上設(shè)有隔熱材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征在于，所述阻擋結(jié)構(gòu)為隔熱材料件。