[發明專利]一種平面反射鏡光學薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 202011385273.4 | 申請日： | 2020-12-02 |
| 公開（公告）號： | CN112458401A | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發明（設計）人： | 錢佳琪;陳小剛 | 申請（專利權）人： | 蘇州蘇克新型材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;G02B5/08 |
| 代理公司： | 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 張一鳴 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 反射 光學薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種平面反射鏡光學薄膜的制備方法，包括：鏡面清理、鏡面遮擋防護、鏡面蒸鍍處理，最終形成鏡面中心介質高反射膜層和鏡面外圍金屬反射膜層，具體流程如下：
S1、首先將鍍件通過機械工裝進行固定，并利用A1板對外圍區域進行遮擋防護；
S2、利用乙醚溶液對鍍件反射鏡面進行擦拭清洗工作，將機械工裝連同鍍件固定至鍍膜腔體內；
S3、進行鍍件中心部分蒸鍍介質高反射膜層的蒸鍍工作，直至膜形成；
S4、將機械工裝及工件從鍍膜腔內取出，并取掉對鍍件外圍防護的A1板；
S5、將聚四氟乙烯擋片用高溫膠粘合在鍍件鏡面中心的介質高反射膜層區域上，對鏡面中的介質高反射膜層進行防護；
S6、利用乙醚溶液對鍍件反射鏡面的外圍區域進行擦拭清洗工作，保證鏡面清潔，再將機械工裝及鍍件重新裝回鍍膜腔內部，在真空環境下，進行離子束轟擊清洗；
S7、進行金屬反射膜層蒸鍍，蒸鍍物質采用鋁，蒸發速率為75nm/s，加熱溫度低于50℃，直至膜形成；
S8、鍍件外圍金屬反射膜層形成后，將鍍件連通機械工裝取出，然后將鍍件從機械工裝上取下，采用丙酮將高溫膠溶解后，取下聚四氟乙烯擋片，對鍍件鏡面殘留物進行清洗即可。
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