[發(fā)明專利]一種用于卡夾硅片的卡盤(pán)銷及用于保持硅片的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011382851.9
• 申請(qǐng)日: 2020-12-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112185885B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇建生;呂天爽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 西安維英格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61253
• 代理人: 姚勇政;李斌棟

1.一種用于卡夾硅片的卡盤(pán)銷，其特征在于，所述卡盤(pán)銷包括：

從動(dòng)部分；

可拆分地裝配至所述從動(dòng)部分的抵接部分，

其中，當(dāng)所述從動(dòng)部分被驅(qū)動(dòng)時(shí)，所述抵接部分相對(duì)于所述硅片的周緣在第一位置與第二位置之間移動(dòng)，在所述第一位置中，所述抵接部分抵接所述硅片的周緣以卡夾所述硅片，在所述第二位置中，所述抵接部分遠(yuǎn)離所述硅片的周緣以松開(kāi)所述硅片，

其中，所述從動(dòng)部分包括從動(dòng)齒輪，當(dāng)所述從動(dòng)齒輪被驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述從動(dòng)部分繞從動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，并且所述抵接部分被裝配在偏離所述從動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線的位置處，

其中，所述抵接部分由適于與所述硅片接觸的材料制成，而所述從動(dòng)部分由適于齒輪傳動(dòng)的材料制成，

其中，所述從動(dòng)部分還包括偏離所述從動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線的突出部，并且所述抵接部分包括與所述突出部匹配的凹入部，所述抵接部分通過(guò)所述突出部與所述凹入部之間的配合裝配至所述從動(dòng)部分，

其中，所述抵接部分成形為能夠套設(shè)在所述突出部上的帽狀件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤(pán)銷，其特征在于，所述適于與所述硅片接觸的材料為PFA。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤(pán)銷，其特征在于，所述適于齒輪傳動(dòng)的材料為不銹鋼。

4.一種用于保持硅片的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的卡盤(pán)銷；

用于支承所述硅片的卡盤(pán)，所述多個(gè)卡盤(pán)銷沿著所述卡盤(pán)的周向方向排列，其中，當(dāng)所述多個(gè)卡盤(pán)銷處于所述第一位置時(shí)將所述硅片固定至所述卡盤(pán)，當(dāng)所述多個(gè)卡盤(pán)銷處于所述第二位置時(shí)將所述硅片從所述卡盤(pán)釋放；

驅(qū)動(dòng)部件，所述驅(qū)動(dòng)部件用于驅(qū)動(dòng)每個(gè)卡盤(pán)銷的所述從動(dòng)部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述從動(dòng)部分包括從動(dòng)齒輪，當(dāng)所述從動(dòng)齒輪被驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述從動(dòng)部分繞從動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，所述抵接部分被裝配在偏離所述從動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線的位置處，所述驅(qū)動(dòng)部件為繞驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)并且與每個(gè)卡盤(pán)銷的從動(dòng)部分的從動(dòng)齒輪嚙合的單個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于，所述多個(gè)卡盤(pán)銷沿著所述卡盤(pán)的周向方向均勻分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于，所述多個(gè)卡盤(pán)銷的數(shù)量為六個(gè)。