[發(fā)明專利]基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置

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• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112387542A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發(fā)明（設計）人: 段吉安;馬著;唐佳;盧勝強;徐聰
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: B05C9/12
• 分類號: B05C9/12;B05C5/02;B05C13/02;B05D3/06;F16B11/00
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 李喆

本發(fā)明提供了一種基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，包括：裝置底板、料盤單元、夾具單元、視覺監(jiān)測單元、物料單元、探針單元、點膠單元和積分球，其中探針單元能夠為激光器芯片上電發(fā)光，夾具單元會從所述料盤單元夾取反射鏡并將反射鏡運輸至物料單元的耦合位置，通過點膠單元點膠并固化將反射鏡固定在耦合位置；其中夾具單元的夾具運動機構能夠驅動夾具機構自由運動實現精確位移，夾具機構能夠通過夾取和吸附雙重作用實現精確夾持，最終積分球會根據光線接收探頭接收到的反射鏡反射光判斷耦合是否完成。本發(fā)明結構設計合理，自動化程度高，能夠實現反射鏡的自動耦合與安裝，夾持精度高，有效提高了耦合效率。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體激光器技術領域，特別涉及一種基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置。

背景技術

半導體激光器具有體積小，重量輕，效率高，壽命長等諸多有點，其在國民經濟的各方面起著越來越重要的作用；隨著實際工程的發(fā)展，對于半導體激光器的輸出功率要求越來越高，為了獲得高輸出功率需要采用陣列半導體激光器，即將多個半導體激光器線狀集成在同一個載體上，通過光學元件將每個半導體激光器產生的激光匯聚到一起。

反射鏡是陣列半導體激光器的光學元件中極為重要的一個，其負責將每個半導體激光器的光反射至同一方向，反射鏡的耦合精度直接影響到陣列半導體激光器的質量；現有的陣列半導體激光器的反射鏡大多采用人工耦合或半自動化耦合，其中人工耦合需要操作人員提前給半導體激光器上電，使其發(fā)射激光，隨后利用器具將反射鏡設置在光路上，通過細微的調整使得激光照射向指定角度，在確定好耦合位置后還需要通過膠體令反射鏡固定在載體上，整個過程工序繁瑣且耗時長，且在整個過程中需要保證反射鏡不會被污染，否則極易影響到激光的反射質量，若半導體激光器的功率過高還有可能對操作人員的人身安全造成影響；其中半自動化耦合時反射鏡的夾持通常采用夾取或者氣吸等單一夾持方式，其夾持效率低下、夾持精度不高，為適應單一夾持方式通常還需要將反射鏡由原裝料盤移送至夾持專用料盤，這一步驟極大的增加了耦合時間，降低了耦合效率。

發(fā)明內容

本發(fā)明提供了一種基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其目的是為了提升反射鏡耦合效率以及耦合精度。

為了達到上述目的，本發(fā)明的實施例提供了一種基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，包括：

裝置底板，所述裝置底板平面設置，所述裝置底板上架設有橫梁；

料盤單元，所述料盤單元設置有料盤運動機構和料盤安裝座，所述料盤安裝座通過所述料盤運動機構設置在所述裝置底板上，所述料盤安裝座用于安裝反射鏡料盤；

夾具單元，所述夾具單元設置有夾具運動機構和夾具機構，所述夾具機構通過所述夾具運動機構設置在橫梁上，所述夾具單元用于夾持并運輸反射鏡；

視覺監(jiān)測單元，所述視覺監(jiān)測單元設置有監(jiān)測相機和相機運動機構，所述監(jiān)測相機通過所述相機運動機構安裝在所述夾具運動機構上；

物料單元，所述物料單元設置有物料運動機構和物料吸盤，所述物料吸盤通過所述物料運動平臺安裝在所述裝置底板上；

探針單元，所述探針單元設置有探針運動機構和探針夾持機構，所述探針夾持機構通過所述探針運動機構安裝在所述裝置底板上，所述探針夾持機構上安裝有加電探針；

點膠單元，所述點膠單元設置有點膠機構和固化機構，所述點膠機構設置在所述橫梁上，所述固化機構設置在所述探針單元上。

其中，所述料盤運動機構設置有料盤Y軸運動平臺，所述料盤Y軸運動平臺的活動板上設置有料盤旋轉平臺，所述料盤旋轉平臺的轉臺上設置有料盤連接件，所述料盤安裝座固定設置在所述料盤連接件頂部。