[發明專利]基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置

在審

• 申請號: 202011374167.6
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112387542A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 段吉安;馬著;唐佳;盧勝強;徐聰
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: B05C9/12
• 分類號: B05C9/12;B05C5/02;B05C13/02;B05D3/06;F16B11/00
• 代理公司: 長沙軒榮專利代理有限公司 43235
• 代理人: 李喆

1.一種基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，包括：

裝置底板，所述裝置底板平面設置，所述裝置底板上架設有橫梁；

料盤單元，所述料盤單元設置有料盤運動機構和料盤安裝座，所述料盤安裝座通過所述料盤運動機構設置在所述裝置底板上，所述料盤安裝座用于安裝反射鏡料盤；

夾具單元，所述夾具單元設置有夾具運動機構和夾具機構，所述夾具機構通過所述夾具運動機構設置在橫梁上，所述夾具單元用于夾持并運輸反射鏡；

視覺監測單元，所述視覺監測單元設置有監測相機和相機運動機構，所述監測相機通過所述相機運動機構安裝在所述夾具運動機構上；

物料單元，所述物料單元設置有物料運動機構和物料吸盤，所述物料吸盤通過所述物料運動平臺安裝在所述裝置底板上；

探針單元，所述探針單元設置有探針運動機構和探針夾持機構，所述探針夾持機構通過所述探針運動機構安裝在所述裝置底板上，所述探針夾持機構上安裝有加電探針；

點膠單元，所述點膠單元設置有點膠機構和固化機構，所述點膠機構設置在所述橫梁上，所述固化機構設置在所述探針單元上。

2.根據權利要求1所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述料盤運動機構設置有料盤Y軸運動平臺，所述料盤Y軸運動平臺的活動板上設置有料盤旋轉平臺，所述料盤旋轉平臺的轉臺上設置有料盤連接件，所述料盤安裝座固定設置在所述料盤連接件頂部。

3.根據權利要求1所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述夾具運動機構設置有X軸運動平臺、Y軸運動平臺、Z軸運動平臺、TZ軸旋轉運動平臺和TY軸旋轉運動平臺；所述Y軸運動平臺設置在所述X軸運動平臺的活動板上，所述Z軸運動平臺設置在所述Y軸運動平臺的活動板上，所述TZ軸旋轉運動平臺設置在所述Z軸運動平臺的活動板上，所述TY軸旋轉運動平臺通過平臺連接件設置在所述TZ軸旋轉運動平臺上。

4.根據權利要求3所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述夾具機構通過一夾具連接件設置在所述TY軸旋轉運動平臺的活動板上，所述夾具機構設置有夾持氣缸連接件、夾持氣缸、吸頭連接件和吸頭；所述夾持氣缸連接件設置在所述夾具連接件上，所述夾持氣缸設置在所述夾持氣缸連接件的前端底部，所述夾持氣缸的輸出端兩側分別向下設置有反射鏡夾頭，所述吸頭連接件設置在所述夾具連接件上，所述吸頭向下設置在所述吸頭連接件的前端，所述吸頭設置在兩個所述反射鏡夾頭之間；所述吸頭底部開設有反射鏡吸附槽，所述吸頭連通負壓，所述反射鏡吸附槽用于吸附反射鏡。

5.根據權利要求4所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述相機運動機構為相機手動平臺，所述相機手動平臺固定設置在所述X軸運動平臺的活動板上，所述相機手動平臺設置在所述X軸運動平臺的活動板靠近所述夾具機構的一端；所述相機手動平臺的活動板上設置有相機連接件，所述監測相機豎直向下設置在安裝在所述相機連接件上。

6.根據權利要求1所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述物料運動機構設置有物料第一運動平臺、物料第二運動平臺和物料第三運動平臺，所述物料吸盤通過吸盤連接件設置在所述物料第三運動平臺的活動板上；所述物料吸盤上設置有物料定位塊。

7.根據權利要求1所述的基于功率檢測的半導體激光器陣列反射鏡耦合裝置，其特征在于，所述探針單元設置在所述物料單元旁，所述探針運動機構設置有探針進退氣缸和探針升降氣缸，所述探針進退氣缸通過探針單元連接件固定設置在所述裝置底板，所述探針升降氣缸通過探針氣缸連接件設置在所述探針進退氣缸上；所述探針夾持機構設置有探針連接件和探針固定件，所述探針連接件設置在所述探針升降氣缸的輸出板上，所述加電探針通過所述探針固定件安裝在所述探針連接件上。