[發明專利]散熱片以及制造散熱片的方法

在審

• 申請號: 202011373405.1
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112930076A
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 廣瀨真一;近藤大雄
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20;C09J7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 康建峰;姚文杰

提供了散熱片以及制造散熱片的方法。散熱片包括：碳材料層，其被配置成包括彼此平行布置的多個線狀碳材料；粘合樹脂層，其被配置成包括要與多個線狀碳材料中的每個線狀碳材料的端部接觸的第一表面，粘合樹脂層的厚度小于1μm；以及剝離片，其被配置成與粘合樹脂層的多個表面中的第二表面接觸，第二表面在與第一表面相對的側上。

技術領域

本文討論的實施方式涉及散熱片以及制造散熱片的方法。

背景技術

在相關技術中，已知一種用于將由碳材料制成的導熱材料層轉移至具有發熱部的構件的轉移片(散熱片)(例如，參照國際公開小冊子第WO 2018/110255號)。在國際公開小冊子第WO 2018/110255號中公開的轉移片具有下述結構，其中，將由剝離膜制成的剝離層、第一粘合層，導熱材料層和第二粘合層以該順序層壓。

發明內容

在一方面，本說明書中公開的實施方式的目的是確保發熱元件和散熱元件的粘合性以及發熱元件與散熱元件之間的熱傳導性。

根據實施方式的一方面，一種散熱片包括：碳材料層，其被配置成包括彼此平行布置的多個線狀碳材料；粘合樹脂層，其被配置成包括要與多個線狀碳材料中的每個線狀碳材料的端部接觸的第一表面，粘合樹脂層的厚度小于1μm；以及剝離片，其被配置成與粘合樹脂層的多個表面中的第二表面接觸，第二表面在與第一表面相對的側上。

附圖說明

圖1是實施方式的散熱片的說明圖；

圖2是將線狀碳材料(CNT)的端部放大示出的說明圖；

圖3是示出散熱片的熱阻與粘合樹脂層的厚度的相關性的圖；

圖4是示出在第一基板上形成多個線狀碳材料的步驟的說明圖；

圖5是示出轉移構件被按壓在多個線狀碳材料中的每個線狀碳材料的第二端部上的狀態的說明圖；

圖6A和圖6B是示出將多個線狀碳材料轉移至轉移構件的步驟的說明圖；

圖7示出具有設置有第一剝離片的第一粘合表面的第一粘合樹脂被固定在第二基板上的狀態；

圖8是示出使在被轉移至轉移構件的多個線狀碳材料中的每個線狀碳材料的第一端部處形成的第一端部表面與具有設置有第一剝離片的第一粘合表面的第一粘合樹脂接觸的狀態的說明圖；

圖9是示出第二基板被安裝在熱板上的狀態的說明圖；

圖10是示出從第二端部移除轉移構件并且多個線狀碳材料被轉移至第一粘合樹脂的狀態的說明圖；

圖11是示出使具有設置有第二剝離片的第二粘合表面的第二粘合樹脂與在多個線狀碳材料中的每個線狀碳材料的第二端部處形成的第二端部表面接觸的狀態的說明圖；

圖12是示出第二基板被安裝在熱板上并且第一剝離片和第二剝離片被朝向彼此按壓的狀態的說明圖；

圖13是示出每個線狀碳材料的第一端部進入第一粘合樹脂并且每個線狀碳材料的第二端部進入第二粘合樹脂的狀態的說明圖；

圖14是示出第二基板被安裝在熱板上并且第一剝離片和第二剝離片被朝向彼此按壓以調節第一端部表面與第一粘合表面之間的距離以及第二端部表面與第二粘合表面之間的距離的狀態的說明圖；

圖15是示出在第一剝離片和第二剝離片在適當溫度下被朝向彼此按壓的情況下的粘合樹脂層的照片；

圖16是示意性地示出圖15所示的狀態的說明圖；

圖17是示出在第一剝離片和第二剝離片在低于適當溫度的溫度下被朝向彼此按壓的情況下的粘合樹脂層的照片；

圖18是示意性地示出圖17所示的狀態的說明圖；