[發明專利]一種楔塊調幅探針卡及其主體

有效

• 申請號: 202011366981.3
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN112526179B
• 公開（公告）日: 2022-01-21
• 發明（設計）人: 于海超;周明
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種楔塊調幅探針卡及其主體，探針卡包括探針卡主體、上楔板和下楔板，通過在探針卡主體的內部滑動設置有若干個上楔板和下楔板，若干個上楔板和下楔板依次間隔交錯設置，能夠實現，通過將不同數量的上楔板插入下楔板之間，使上楔板上的探針能夠插入或移出下方的探針隊列中，增加或減少用于檢測的探針數量，進而使單個探針卡的檢測幅度能夠進行調整，使探針卡具有通用性。

技術領域

本發明屬于探針卡技術領域，尤其涉及一種楔塊調幅探針卡及其主體。

背景技術

隨著半導體工業的發展，越來越多的電子裝置被接入在半導體晶圓上，在半導體器件的制作過程中，將探針與半導體晶圓上的金屬端接觸，實現臨時的電連接，使測試儀的電信號通過探針傳輸到半導體器件，測試儀通過返回的電信號對半導體晶圓上的電子裝置進行檢測。

探針卡是連接半導體晶圓與測試儀之間的紐帶，通過將多個探針集成在探針卡上，使多個探針同時與半導體晶片上的多個半導體器件同時接觸，提高檢測效率。

在半導體器件的生產過程中，需要多次對一個或多個裝置內的大量電路觸點進行訪問，通過移動機構對探針卡進行移動，使探針與觸點接觸，同時，為匹配檢測過程中的多組觸點，探針卡需要設置多個，由固持器對探針卡進行固定，固持器為能夠旋轉的多面體，通過在每個面上設置一個或多個探針卡，在需要切換探針卡時，通過轉動固持器，將對應的探針卡轉動至半導體器件上方進行檢測，或者設置多個可移動的平臺對探針卡進行移動，實現探針卡與不同觸點組的匹配，現有技術中，為了實現多組觸點的檢測，采用了對探針卡的互換來實現匹配，通過切換不同的探針卡來實現匹配，由于單個探針卡無法通用，導致探針卡的驅動結構變得復雜。

發明內容

本發明克服了上述現有技術的不足，提供了一種楔塊調幅探針卡及其主體，能夠調整探針卡的檢測幅度，使單個探針卡能夠檢測多組不同寬幅的觸點，具有通用性。

本發明的技術方案：

一種楔塊調幅探針卡，包括：探針卡主體、上楔板和下楔板，所述探針卡主體的內部滑動設置有若干個上楔板和下楔板，若干個上楔板和下楔板依次間隔交錯設置；

所述探針卡主體包括：主體框架、探針槽和上楔板槽，所述主體框架內部沿長度方向容納有若干個上楔板和下楔板，且主體框架的底部沿長度方向設置有供探針穿過的探針槽，主體框架上還設置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽；

所述上楔板包括：上楔板體、上楔板楔頭、上楔板探針和上楔板觸點，所述上楔板體的下端設置有上楔板楔頭，上楔板楔頭的兩側分別延伸至所述上楔板體的兩側面，上楔板楔頭的下端設置有上楔板探針，所述的上楔板觸點一端與上楔板探針連接，上楔板觸點的另一端從所述上楔板體的一側露出；

所述下楔板包括：下楔板體、下楔板楔頭、下楔板探針和下楔板觸點，所述下楔板體的上端設置有下楔板楔頭，下楔板楔頭的兩側分別延伸至所述下楔板體的兩側面，下楔板體的下端設置有下楔板探針，所述的下楔板觸點一端與下楔板探針連接，下楔板觸點的另一端從所述下楔板體的一側露出；

定義待檢測觸點所需的探針間距為標準探針間距，所述上楔板體和下楔板體的厚度均為標準探針間距，所述探針卡主體與所述上楔板觸點和下楔板觸點對應的一側間隔設置有若干個固定觸點，若干個固定觸點的一端與檢測電路板連接，固定觸點的另一端延伸至主體框架的內部，相鄰的所述固定觸點的間距為標準探針間距。

進一步地，所述探針卡主體還包括：主體固定擋塊、主體活動擋塊和主體活動擋塊彈簧，所述主體框架的一側設置有主體固定擋塊，該主體固定擋塊的側面與若干個依次間隔交錯設置的上楔板和下楔板的一側接觸，所述主體框架的另一側滑動設置有主體活動擋塊，該主體活動擋塊的側面與若干個依次間隔交錯設置的上楔板和下楔板的另一側接觸，所述主體活動擋塊通過主體活動擋塊彈簧與探針卡主體連接。