[發(fā)明專利]軌跡控制式重心可調(diào)拋光機(jī)構(gòu)及拋光方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011366478.8
• 申請(qǐng)日: 2020-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN112605789B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柯曉龍;邱磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門理工學(xué)院
• 主分類號(hào): B24B13/01
• 分類號(hào): B24B13/01;B24B13/00
• 代理公司: 泉州市潭思專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35221
• 代理人: 麻艷

本發(fā)明公開了一種軌跡控制式重心可調(diào)拋光機(jī)構(gòu)及拋光方法，該拋光機(jī)構(gòu)包括拋光盤、動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、重心調(diào)整機(jī)構(gòu)及支撐機(jī)構(gòu)；所述的動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)及動(dòng)力主軸，該動(dòng)力主軸與該拋光盤之間采用柔性連接；該重心調(diào)整機(jī)構(gòu)包括軌跡板、擺動(dòng)板以及施壓機(jī)構(gòu)；該軌跡板固定不動(dòng)，其上開有軌跡槽；該擺動(dòng)板軸接所述動(dòng)力主軸之外，其上設(shè)有與軌跡槽配合的凸塊；該施壓機(jī)構(gòu)位于擺動(dòng)板及拋光盤之間，用以將擺動(dòng)板的擺動(dòng)壓力傳遞給拋光盤。本發(fā)明所述的軌跡控制式重心可調(diào)拋光盤機(jī)構(gòu)及其拋光方法，利用軌跡板的軌跡槽，通過調(diào)節(jié)拋光盤的重心可以減小邊緣效應(yīng)，具有操作簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)、可自動(dòng)化控制等特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光學(xué)元件精加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種光學(xué)元件精密拋光的拋光加工工具及拋光方法，特別涉及一種軌跡控制式重心可調(diào)拋光機(jī)構(gòu)及拋光方法。

背景技術(shù)

目前在光學(xué)元件精加工技術(shù)領(lǐng)域，無論是古典加工還是計(jì)算機(jī)控制表面成型技術(shù)（CCOS），在加工工件邊緣區(qū)域的時(shí)候，由于接觸面積的減小（因?yàn)閽伖獗P部分伸出工件之外）而拋光應(yīng)力不變使接觸壓強(qiáng)增大，從而導(dǎo)致工件邊緣的去除量增大而造成“塌邊”的邊緣效應(yīng)現(xiàn)象，這種邊緣效應(yīng)會(huì)嚴(yán)重阻礙工件面形誤差收斂，甚至?xí)p小工件的有效口徑。

申請(qǐng)?zhí)?01910092105.7的中國(guó)發(fā)明專利公開了一種光學(xué)元件拋光工具及拋光方法，該工具無需安裝輔助加工用的拼接塊，磨盤的運(yùn)動(dòng)范圍擴(kuò)展到元件的外部區(qū)域，磨盤不會(huì)發(fā)生傾覆，使得元件邊緣區(qū)域與中間區(qū)域加工情況一致，有效消除塌邊或翹邊面形等邊緣效應(yīng)問題，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件全口徑面形的高精度加工。

CN201610836440.X公開了一種“調(diào)節(jié)光學(xué)元件邊緣區(qū)域壓強(qiáng)分布的拋光組件”，該專利前案在光學(xué)元件邊緣區(qū)域拋光過程中，通過該拋光組件對(duì)光學(xué)元件邊緣區(qū)域壓強(qiáng)分布進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而改變邊緣區(qū)域材料去除量分布、達(dá)到抑制邊緣效應(yīng)的效果。但是該技術(shù)只能通過活動(dòng)關(guān)節(jié)改變拋光組件的位置，從而改變對(duì)拋光盤的施力位置，而無法調(diào)節(jié)施力大小，更不能解決根據(jù)實(shí)際加工要求而在線調(diào)節(jié)的目的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種軌跡控制式重心可調(diào)拋光機(jī)構(gòu)及拋光方法，其通過調(diào)節(jié)拋光盤的重心來達(dá)到減小邊緣效應(yīng)的問題，且可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)精準(zhǔn)控制。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)解決方案是：

一種軌跡控制式重心可調(diào)拋光機(jī)構(gòu)，包括拋光盤、動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、重心調(diào)整機(jī)構(gòu)及支撐機(jī)構(gòu)；所述的動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)及動(dòng)力主軸，該動(dòng)力主軸與該拋光盤之間采用柔性連接；該重心調(diào)整機(jī)構(gòu)包括軌跡板、擺動(dòng)板以及施壓機(jī)構(gòu)；該軌跡板固定不動(dòng)，其上開有軌跡槽；該擺動(dòng)板軸接所述動(dòng)力主軸之外，其上設(shè)有與軌跡槽配合的凸塊；該施壓機(jī)構(gòu)位于擺動(dòng)板及拋光盤之間，用以將擺動(dòng)板的擺動(dòng)壓力傳遞給拋光盤。

優(yōu)選地，所述的施壓機(jī)構(gòu)包括內(nèi)套筒、外套筒、內(nèi)彈簧、外彈簧、頂桿及施壓桿；該內(nèi)套筒套在外套筒之外，兩者之間套有所述外彈簧，該內(nèi)套筒內(nèi)放置所述內(nèi)彈簧；該頂桿固定在內(nèi)套筒上方；該施壓桿頂部穿過內(nèi)、外套筒、與所述內(nèi)彈簧連動(dòng)；該施壓機(jī)構(gòu)固定在一主軸套筒，該主軸套筒套在動(dòng)力主軸之外。

優(yōu)選地，所述的內(nèi)套筒頂部固定有一端蓋，所述的頂桿固定在該端蓋上。

優(yōu)選地，所述的施壓桿頂部為螺桿，該螺桿鎖在位于內(nèi)套筒內(nèi)的螺母上，通過該螺母壓縮所述的內(nèi)彈簧。

優(yōu)選地，所述的施壓桿為萬向球軸承，該萬向球軸承上方設(shè)有螺桿，該螺桿鎖在位于內(nèi)套筒內(nèi)的螺母上，通過該螺母壓縮所述的內(nèi)彈簧。

優(yōu)選地，所述的施壓機(jī)構(gòu)固定在一支撐架上，該支撐架一端鎖在所述主軸套筒上，一端為C形卡槽，所述外套筒外壁設(shè)有凹槽與該C形卡槽相互卡固配合。

優(yōu)選地，所述拋光盤與動(dòng)力主軸之間的柔性連接結(jié)構(gòu)為，所述動(dòng)力主軸底部設(shè)有一對(duì)圓柱形凸塊，所述拋光盤上設(shè)有安裝孔，該安裝孔內(nèi)設(shè)有直槽，該圓柱形凸塊與直槽配合卡固形成柔性連接。