[發明專利]一種測試探針清潔裝置及其夾持構件和測試基座

有效

• 申請號: 202011365615.6
• 申請日: 2020-11-28
• 公開（公告）號: CN112462109B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉
• 申請（專利權）人: 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;B08B13/00;B08B1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種測試探針清潔裝置及其夾持構件和測試基座，涉及半導體技術領域，本發明為了解決現有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題。一種測試探針清潔裝置，包括清潔構件、夾持構件、測試插座、測試基座和測試探針；所述清潔構件上方設置有夾持構件，所述清潔構件下方設置有測試插座，所述測試插座安裝在測試基座上，所述夾持構件能夠通過傳動機械臂移動控制測試插座上方的清潔構件，能夠使清潔構件移動至測試插座內，并與測試插座內的測試探針的探頭貼合抵靠。本發明解決了現有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題，進而達到了有效代替人工清潔，同時保證了清潔質量和測試效率。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種測試探針清潔裝置及其夾持構件和測試基座。

背景技術

半導體制造的最后一個制程為測試，測試制程可分為初步測試與最終測試，其主要目的除了發現半導體組件的瑕疵之外，也將依規格劃分半導體組件的等級。在測試半導體組件例如芯片的過程中，探針會與半導體組件上的接腳，例如錫球，進行電性接觸，以測試該半導體組件的相關電性能，以及評估其功能是否正常，但是由于待測芯片底面的錫球是由金屬材料所制成，在重復測試過程中，探針尖端在反復接觸錫球后，錫球上的金屬氧化物及其它有機材料會堆積在探針尖端。當這些雜質累積一定數量時，需要及時清理，否則會影響探針尖端的特性，使得測試結果變得不準確，甚至沉積嚴重時還需更換整個測試插座上的測試探針，現有應用較為廣泛的探針的探頭多為梅花狀，尤其是四爪梅花探針應用及其廣泛，針對四爪梅花探頭的清潔工作主要存在以下問題：

第一、主要清潔方式為人工利用刷子進行清潔，存在清潔質量參差不齊，會影響測試結果；

第二、即使采用人工清潔，需要將測試插座從測試基座上拆下，在將探針從測試插座中拆卸分離，然后清理，待清理完成后，在逐一安裝，會造成生產線停運，影響測試效率和產出；

第三、如何針對梅花探頭的形狀，將沉積在梅花探頭棱角端面的雜質去除；

第四、如何將清除的雜質灰塵徹底從探頭上清除，以保持探頭的測試結果的準確性。

發明內容

為了克服現有技術中的上述不足，本發明提供了一種測試探針清潔裝置及其夾持構件和測試基座，用以解決現有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題。

本發明的技術方案：

一種測試探針清潔裝置，包括清潔構件、夾持構件、測試插座、測試基座和測試探針；所述清潔構件上方設置有夾持構件，所述清潔構件下方設置有測試插座，所述測試插座安裝在測試基座上，所述夾持構件能夠通過傳動機械臂移動控制測試插座上方的清潔構件，能夠使清潔構件移動至測試插座內，并與測試插座內的測試探針的探頭貼合抵靠，以完成對測試探針的先刮除累積雜質，再將雜質灰塵從測試插座內吸附清除的工作；

所述清潔構件包括套管、密封片、安裝板、限位片、活塞、主動梯形齒輪、從動梯形齒輪、傳動桿、移動片、彈性件、刮除件、螺紋套筒、傳動軸、固定片、清潔軟膠、復位彈簧和輸出長軸；所述套管通過密封片陣列設置在安裝板下端面上，上層限位片與密封片之間可移動設置有活塞，活塞下端的主動梯形齒輪和從動梯形齒輪相嚙合，所述從動梯形齒輪兩端對稱設置有傳動桿，傳動桿的一端與活塞的一端相連，傳動桿的另一端穿過兩個限位片與移動片上端面相連，移動片下端面通過彈性件陳列設置有多個刮除件，所述從動梯形齒輪通過螺紋套筒轉動設置在下層限位片上，所述傳動軸上端穿過螺紋套筒并與螺紋套筒相配合，傳動軸的另一端與固定片相連接，所述固定片下端設置有清潔軟膠，位于兩個限位片之間的傳動軸上設置有復位彈簧，所述傳動電機設置在一側的套管側壁上，傳動電機的輸出端與輸出長軸相連，所述輸出長軸穿過陣列設置的套管，套管內的從動梯形齒輪設置在輸出長軸上，所述刮除件能夠通過活塞進行上下往復運動，并通過彈性件使刮除件的下端面與測試探針的探頭的梅花尖端相抵靠，以對梅花尖端上累積的雜質進行刮除，所述清潔軟膠能夠將清潔的雜質、灰塵進行粘吸在清潔軟膠表面，進而從測試插座內將雜質灰塵清除。