[發(fā)明專利]顯示基板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011363144.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN112510069B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭遠(yuǎn)征;黃鵬;高濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32;H01L29/423;H01L21/77;G09F9/30;G09F9/33
• 代理公司: 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 賈敏

1.一種顯示基板，其特征在于，所述顯示基板包括：

襯底基板(10)，具有第一表面(101)；

第一晶體管(20)，包括第一有源層(201)和第一柵極絕緣層(202)，所述第一有源層(201)位于所述襯底基板(10)的第一表面(101)，所述第一柵極絕緣層(202)位于所述第一有源層(201)遠(yuǎn)離所述第一表面(101)的一面且覆蓋所述第一有源層(201)；

第一絕緣層(30)，位于所述第一柵極絕緣層(202)遠(yuǎn)離所述第一表面(101)的一面，所述第一絕緣層(30)具有第一開口(301)，所述第一開口(301)貫穿所述第一絕緣層(30)；

第二晶體管(40)，包括第二有源層(401)，所述第二有源層(401)位于所述第一開口(301)內(nèi)，所述第二有源層(401)在所述第一表面(101)的正投影與所述第一有源層(201)在所述第一表面(101)的正投影錯(cuò)開，所述第二有源層(401)采用氧化物半導(dǎo)體材料制成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第一絕緣層(30)為有機(jī)層，所述第一絕緣層(30)的耐熱溫度大于350攝氏度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示基板，其特征在于，所述第一絕緣層(30)包括光敏聚酰亞胺層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的顯示基板，其特征在于，在垂直于所述第一表面(101)的方向上，所述第一絕緣層(30)的厚度小于或等于3微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的顯示基板，其特征在于，所述第一晶體管(20)還包括第一控制極(203)、第一極(241)和第二極(242)，所述第一控制極(203)位于所述第一柵極絕緣層(202)遠(yuǎn)離所述第一表面(101)的一面，所述第一絕緣層(30)覆蓋所述第一控制極(203)；所述第一極(241)和所述第二極(242)貫穿所述第一絕緣層(30)和所述第一柵極絕緣層(202)并與所述第一有源層(201)電連接；

所述第二晶體管(40)還包括第二柵極絕緣層(402)、第二控制極(403)、第二絕緣層(50)、第三極(441)和第四極(442)，所述第二柵極絕緣層(402)、所述第二控制極(403)沿遠(yuǎn)離所述第一表面(101)的方向，依次層疊在所述第二有源層(401)上，所述第二絕緣層(50)覆蓋所述第二有源層(401)、所述第二柵極絕緣層(402)和所述第二控制極(403)，所述第三極(441)和所述第四極(442)貫穿所述第二絕緣層(50)，所述第三極(441)分別與所述第二有源層(401)和所述第一控制極(203)電連接，所述第四極(442)與所述第二有源層(401)電連接；

其中，所述第二柵極絕緣層(402)、所述第二控制極(403)和所述第二絕緣層(50)均位于所述第一開口(301)中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示基板，其特征在于，所述第一絕緣層(30)和所述第一柵極絕緣層(202)中具有第一過孔(302)，所述第一極(241)和所述第二極(242)通過不同的所述第一過孔(302)與所述第一有源層(201)電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示基板，其特征在于，所述第二絕緣層(50)包裹所述第二有源層(401)、所述第二柵極絕緣層(402)和所述第二控制極(403)，所述第二絕緣層(50)中具有第二過孔(501)，所述第三極(441)和所述第四極(442)通過不同的所述第二過孔(501)與所述第二有源層(401)電連接。