[發明專利]邊緣環以及退火裝置

在審

• 申請號: 202011358841.1
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN114566439A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 樸興雨;李河圣;朱寧炳;熊文娟;蔣浩杰;崔恒瑋;李亭亭
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 金銘

1.一種邊緣環，其特征在于，包括：

環體，所述環體的內圈設置有環狀的擱置槽，所述擱置槽上設置有溝槽。

2.根據權利要求1所述的邊緣環，其特征在于，所述溝槽為環狀槽，所述環狀槽與所述擱置槽同軸設置，且所述環狀槽位于所述擱置槽的槽內邊緣。

3.根據權利要求2所述的邊緣環，其特征在于，所述溝槽的槽底面為弧面結構。

4.根據權利要求3所述的邊緣環，其特征在于，所述溝槽的寬度在2mm至4mm之間；和/或，所述溝槽的最大深度在0.4mm至0.6mm之間。

5.根據權利要求4所述的邊緣環，其特征在于，所述溝槽的寬度為3mm；和/或，所述溝槽的最大深度為0.5。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的邊緣環，其特征在于，所述擱置槽內開設有貫通的通孔；所述通孔的數量為多個，多個所述通孔在所述擱置槽上沿其環狀周向設置。

7.根據權利要求6所述的邊緣環，其特征在于，所述通孔的頂端開口直徑大于其底端開口直徑。

8.根據權利要求7所述的邊緣環，其特征在于，所述通孔包括相互連通的第一孔段和第二孔段，所述第一孔段位于所述第二孔段之上，且所述第二孔段為錐面孔。

9.根據權利要求8所述的邊緣環，其特征在于，所述第一孔段的孔徑在1.6mm至2mm之間；和/或，所述第二孔段的最大直徑在1.6mm至2mm之間，所述第二孔段的最小直徑在0.4mm至0.6mm之間；

和/或，所述通孔的數量為4至8個。

10.一種退火裝置，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的邊緣環；還包括旋轉部件、底盤和烘烤部件；所述烘烤部件與所述旋轉部件相對設置，所述邊緣環設置在所述底盤上，所述底盤和所述邊緣環位于所述旋轉部件和所述烘烤部件之間。