[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體用晶圓QDR槽

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011351740.1
• 申請(qǐng)日: 2020-11-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112474524A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 烏蘭
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/02;B08B3/00;B08B13/00;B08B17/04;H01L21/67
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• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種半導(dǎo)體用晶圓QDR槽，其特征在于，包括：

殼體(1)，所述殼體(1)的內(nèi)腔被隔板分隔為左右兩側(cè)；

密封機(jī)構(gòu)(2)，設(shè)置在所述殼體(1)的頂端；

清洗機(jī)構(gòu)(3)，設(shè)置在所述殼體(1)的內(nèi)腔左側(cè)；

水箱(6)，設(shè)置在所述殼體(1)的內(nèi)腔右側(cè)前端；

水泵(7)，設(shè)置在所述水箱(6)的頂端，所述水泵(7)的進(jìn)水管延伸進(jìn)水箱(6)的內(nèi)腔；

氮?dú)夤呐菅b置(8)，設(shè)置在所述殼體(1)的內(nèi)腔右側(cè)后端；

控制器(9)，安裝在所述殼體(1)的頂端前側(cè)，所述控制器(9)分別與水泵(7)和氮?dú)夤呐菅b置(8)電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體用晶圓QDR槽，其特征在于：所述密封機(jī)構(gòu)(2)包括；

密封機(jī)構(gòu)殼體(21)，設(shè)置在所述殼體(1)的頂端；

安裝槽(22)，開(kāi)設(shè)在所述密封機(jī)構(gòu)殼體(21)的頂端左側(cè)，所述安裝槽(22)的內(nèi)腔與殼體(1)的內(nèi)腔左側(cè)相通；

密封板(23)，所述密封板(23)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述密封板(23)分別設(shè)置在安裝槽(22)的內(nèi)腔底端前后兩側(cè)；

鏈輪(24)，所述鏈輪(24)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述鏈輪(24)分別設(shè)置通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在密封機(jī)構(gòu)殼體(21)的內(nèi)腔右側(cè)前后兩端；

鏈條(25)，內(nèi)側(cè)前后兩端分別嚙合在前后兩個(gè)鏈輪(24)的外壁；

連接桿(26)，所述連接桿(26)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述連接桿(26)分別設(shè)置在鏈條(25)的外壁左右兩側(cè)，所述連接桿(26)的形狀為L(zhǎng)形且連接桿(26)的左端延伸進(jìn)安裝槽(22)的內(nèi)腔；

限位槽塊(27)，沿前后方向設(shè)置在所述密封機(jī)構(gòu)殼體(21)的內(nèi)腔頂端左側(cè)，所述連接桿(26)的外壁與限位槽塊(27)的內(nèi)腔適配插接；

移動(dòng)密封板(28)，所述移動(dòng)密封板(28)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述移動(dòng)密封板(28)分別設(shè)置在前后兩個(gè)連接桿(26)的左側(cè)；

第一電機(jī)(29)，設(shè)置在所述密封機(jī)構(gòu)殼體(21)的內(nèi)腔左側(cè)前端，所述第一電機(jī)(29)和控制器(9)電性連接；

第一錐形齒輪(210)，螺釘連接在所述第一電機(jī)(29)的輸出端；

第二錐形齒輪(211)，螺釘連接在位于所述密封機(jī)構(gòu)殼體(21)內(nèi)腔前側(cè)鏈輪(24)的低端，所述第二錐形齒輪(211)與第一錐形齒輪(210)相嚙合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體用晶圓QDR槽，其特征在于：所述清洗機(jī)構(gòu)(3)包括；

噴淋槽(31)，設(shè)置在所述殼體(1)的內(nèi)腔左側(cè)安裝槽(22)的內(nèi)腔底端中心位置；

噴淋組件(4)，所述噴淋組件(4)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述噴淋組件(4)分別設(shè)置在噴淋槽(31)的內(nèi)腔前后兩側(cè)頂端；

噴頭組件(5)，所述噴頭組件(5)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述噴頭組件(5)分別設(shè)置在噴淋槽(31)的內(nèi)腔前后兩側(cè)底端；

溢流槽(32)，所述溢流槽(32)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述溢流槽(32)分別沿左右方向內(nèi)嵌在噴淋槽(31)的內(nèi)腔前后兩側(cè)頂端開(kāi)口處；

廢液收集池(33)，套接在所述噴淋槽(31)的外壁底端，所述噴淋槽(31)與廢液收集池(33)的內(nèi)腔頂端通過(guò)支架固定連接；

第一電動(dòng)伸縮桿(34)，沿上下方向設(shè)置在廢液收集池(33)的內(nèi)腔底端中心位置，所述第一電動(dòng)伸縮桿(34)和控制器(9)電性連接；

密封板(35)，設(shè)置在所述第一電動(dòng)伸縮桿(34)的頂端；

底板(36)，設(shè)置在所述噴淋槽(31)的內(nèi)腔底端開(kāi)口處；

勻流板(37)，設(shè)置在所述噴淋槽(31)的內(nèi)腔底端且位于底板(36)的上方；

排水孔(38)，開(kāi)設(shè)在所述底板(36)的頂端中心位置，所述排水孔(38)的內(nèi)腔與密封板(35)相適配。