[發(fā)明專利]一種半導體溫控清洗設備

有效

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• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN112151427B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發(fā)明（設計）人: 顧曉辰
• 申請（專利權(quán)）人: 泰州鴻行信息科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明屬于半導體技術領域，尤其是一種半導體溫控清洗設備，包括支撐腿，所述支撐腿的上表面固定連接有清洗箱，所述清洗箱的內(nèi)底壁固定連接有第一吸熱板，所述第一吸熱板的上表面開設有第一漏水口，所述清洗箱的內(nèi)底壁開設有第二漏水口。該半導體溫控清洗設備，達到了第一吸熱板對化學液內(nèi)的熱量進行吸收，導熱套將第一吸熱板的熱量傳導至陶瓷材料的密封罐內(nèi)，使得密封罐內(nèi)部的溫度升高，密封罐內(nèi)的氫氣隨溫度的升高得到膨脹，膨脹后的氫氣推動伸縮盤，伸縮盤向下移動的效果，從而解決了現(xiàn)有的半導體清洗設備中，通過溫度傳感器對化學液溫度進行監(jiān)控，控制冷卻水對化學液的溫度進行冷卻，降溫速度較慢的問題。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體溫控清洗設備。

背景技術

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上最具有影響力的一種；

在光伏或半導體的清洗工藝中，往往要求工藝過程中化學液溫度保持在一定范圍，以確保硅片表面的工藝效果和處理均勻性，然而，在使用槽式清洗設備處理硅片時，一些化學液與硅片表面反應，會產(chǎn)生大量的熱量，使得清洗槽內(nèi)化學液的溫度升高，影響工藝效果；

現(xiàn)有的半導體清洗設備中，通常在工藝槽內(nèi)側(cè)周邊布置盤管，通過溫度傳感器對化學液溫度進行監(jiān)控，向盤管中通入循環(huán)冷卻水，通過冷卻水對化學液的熱量進行降低，化學液降溫速度較慢，耗時較長。

發(fā)明內(nèi)容

基于現(xiàn)有的半導體清洗設備中，通過冷卻水對化學液的熱量進行降低，化學液降溫速度較慢，耗時較長的技術問題，本發(fā)明提出了一種半導體溫控清洗設備。

本發(fā)明提出的一種半導體溫控清洗設備，包括支撐腿，所述支撐腿的上表面固定連接有清洗箱，所述清洗箱的內(nèi)壁的底部固定連接有第一吸熱板，所述第一吸熱板的上表面開設有第一漏水口，所述清洗箱的底部開設有位于第一吸熱板下方的第二漏水口，所述清洗箱的內(nèi)部開設有位于第二漏水口下方的安裝腔，所述安裝腔的內(nèi)壁活動套接有控制板，所述清洗箱的內(nèi)壁的底部開設有位于第二漏水口兩側(cè)的第一連接口，所述第一連接口的內(nèi)壁設置有溫控裝置，所述溫控裝置包括導熱套。

所述安裝腔的內(nèi)壁設置有擠壓裝置，所述擠壓裝置包括安裝塊，所述安裝塊位于控制板的下方。

所述導熱套的外表面與第一連接口的上端內(nèi)壁固定連接，多個所述導熱套的上表面均與第一吸熱板的下表面固定連接，所述第一連接口的下端內(nèi)壁固定連接有密封罐。

所述密封罐的上端外表面與導熱套的內(nèi)表面固定套接，所述密封罐的內(nèi)壁活動套接有伸縮盤，所述密封罐和伸縮盤的材質(zhì)均為陶瓷，所述密封罐的內(nèi)部設置有氫氣。

所述伸縮盤的上表面開設有密封口，所述密封口的內(nèi)壁固定連接有密封圈，所述密封圈的材質(zhì)為聚氨酯，所述伸縮盤的下表面固定連接有支撐桿，所述伸縮盤的下表面固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧的自由端與密封罐的內(nèi)底壁固定連接。

優(yōu)選地，所述密封罐的內(nèi)底壁開設有第一連通口，所述支撐桿的外表面與第一連通口的內(nèi)壁活動套接，所述支撐桿的下表面與控制板的上表面固定連接，所述控制板的上表面固定連接有密封塊，多個所述密封塊的外表面分別與多個所述第二漏水口的內(nèi)壁活動套接，所述控制板的上表面開設有流水槽。

優(yōu)選地，所述安裝塊的外表面與安裝腔的內(nèi)壁固定連接，所述安裝塊的上表面固定連接有開關，所述安裝塊的下表面開設有第一安裝口，所述第一安裝口的內(nèi)壁固定連接有液壓缸，所述開關的電極與液壓缸的電極電性連接，所述液壓缸包括活塞和液壓桿。