[發明專利]一種半導體溫控清洗設備

有效

• 申請號: 202011350864.8
• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN112151427B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 顧曉辰
• 申請（專利權）人: 泰州鴻行信息科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體溫控清洗設備，包括支撐腿（1），其特征在于：所述支撐腿（1）的上表面固定連接有清洗箱（2），所述清洗箱（2）的內壁的底部固定連接有第一吸熱板（3），所述第一吸熱板（3）的上表面開設有第一漏水口（4），所述清洗箱（2）的底部開設有位于所述第一吸熱板下方的第二漏水口（5），所述清洗箱（2）的內部開設有位于第二漏水口（5）下方的安裝腔（6），所述安裝腔（6）的內壁活動套接有控制板（7），所述清洗箱（2）的內壁的底部開設有位于第二漏水口（5）兩側的第一連接口，所述第一連接口的內壁設置有溫控裝置，所述溫控裝置包括導熱套（8）；

所述安裝腔（6）的內壁設置有擠壓裝置，所述擠壓裝置包括安裝塊（9），所述安裝塊（9）位于控制板（7）的下方；

所述導熱套（8）的外表面與第一連接口的上端內壁固定連接，多個所述導熱套（8）的上表面均與第一吸熱板（3）的下表面固定連接，所述第一連接口的下端內壁固定連接有密封罐（801）；

所述密封罐（801）的上端外表面與導熱套（8）的內表面固定套接，所述密封罐（801）的內壁活動套接有伸縮盤（802），所述密封罐（801）和伸縮盤（802）的材質均為陶瓷，所述密封罐（801）的內部設置有氫氣；

所述伸縮盤（802）的上表面開設有密封口，所述密封口的內壁固定連接有密封圈（803），所述密封圈（803）的材質為聚氨酯，所述伸縮盤（802）的下表面固定連接有支撐桿（804），所述伸縮盤（802）的下表面固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧的自由端與密封罐（801）的內底壁固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述密封罐（801）的內底壁開設有第一連通口，所述支撐桿（804）的外表面與第一連通口的內壁活動套接，所述支撐桿（804）的下表面與控制板（7）的上表面固定連接，所述控制板（7）的上表面固定連接有密封塊（10），多個所述密封塊（10）的外表面分別與多個所述第二漏水口（5）的內壁活動套接，所述控制板（7）的上表面開設有流水槽（11）。

3.根據權利要求1所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述安裝塊（9）的外表面與安裝腔（6）的內壁固定連接，所述安裝塊（9）的上表面固定連接有開關（901），所述安裝塊（9）的下表面開設有第一安裝口，所述第一安裝口的內壁固定連接有液壓缸（902），所述開關（901）的電極與液壓缸（902）的電極電性連接，所述液壓缸（902）包括活塞和液壓桿（903）。

4.根據權利要求3所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述液壓桿（903）的一端表面固定連接有擠壓塊（904），所述擠壓塊（904）的外表面與安裝腔（6）的內壁滑動套接，所述擠壓塊（904）的上表面開設有第二安裝口（905），所述第二安裝口（905）的內壁呈凸字形狀，所述第二安裝口（905）的兩側內壁固定連接有連接桿（906）。

5.根據權利要求4所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述連接桿（906）的外表面分別活動鉸接有第一鉸接板（907）和第二鉸接板（908），所述第二安裝口（905）的兩側內壁均固定連接有第二彈簧，兩個所述第二彈簧的自由端分別與第一鉸接板（907）的上表面和第二鉸接板（908）的上表面固定連接，所述安裝腔（6）的內部設置有三氯乙烯。

6.根據權利要求1所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述安裝腔（6）的內底壁開設有第三安裝口，所述第三安裝口的內壁固定連接有吸熱塊（12），所述第三安裝口的內底壁開設有第二連接口，所述吸熱塊（12）的下表面固定連接有散熱翅片（13），所述散熱翅片（13）位于第二連接口的內壁。

7.根據權利要求1所述的一種半導體溫控清洗設備，其特征在于：所述安裝腔（6）的內底壁開設有第二連通口（14），所述第二連通口（14）的一端內壁貫穿并延伸至清洗箱（2）的內表面，所述第二連通口（14）位于清洗箱（2）內表面的一端內壁固定連接有噴頭（15）。