[發明專利]一種中子單色器用非完美單晶片的高溫成型設備

在審

• 申請號: 202011339884.5
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN112458538A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 羅奕兵;謝煒;仝永鋼;余小峰;華熳煜;曹太山
• 申請（專利權）人: 長沙理工大學
• 主分類號: C30B33/00
• 分類號: C30B33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種中子單色器用非完美單晶片的高溫成型設備由加熱電爐、溫度控制系統、模具系統、加載系統、真空保護系統、操作臺、輔助系統組成；其特征在于，

加熱電爐的最高加熱溫度不高于1350°，爐膛為圓柱形且爐口朝下，加熱電爐具有兩個固定工位之間切換所需的平移與升降或爐膛開閉功能；真空系統由玻璃罩、玻璃罩支撐板、真空泵、真空計、連接接頭、管路組成；

進一步，所述玻璃罩與阻擋法蘭形成所需的真空腔，玻璃罩主體為圓柱體，一端為穹頂封閉，另一端為通孔，玻璃罩在處于保護狀態時，玻璃罩呈立式放置并使通孔端朝下，通孔端處于操作臺的水冷套箱內的玻璃罩支撐板所支撐，本工位處于工作狀態時，水冷套箱內的液面始終高于玻璃罩的通孔端面，在玻璃罩的圓柱面開設有操作口，操作口裝配有不透氣材質的手套，手套與玻璃罩之間采用法蘭+膠接的密封方式。

2.根據權利要求1所述操作臺，其特征在于操作臺的主體為水冷套箱結構，水冷套箱開設有環形槽，環形槽下設置有玻璃罩支撐板，玻璃罩支撐板帶動玻璃罩上下移動。

3.根據權利要求1所述輔助系統，其特征在于系統包含絕熱墊、置放架、以及保護層；

進一步，所述絕熱墊安置于在阻擋法蘭的上部，絕熱墊開設有便于非完美單晶片取放的缺口；在本裝置處于裝片或移片時，玻璃罩上升，絕熱墊處于操作口之下，本裝置處于加熱狀態時，玻璃罩下移，絕熱墊處于操作口之上；

進一步，所述置物架處于絕熱墊和阻擋法蘭之間，絕熱墊、置物架、阻擋法蘭三者之間位置相對固定。

4.根據權利要求1所述模具系統，其特征在于系統由彎曲和整平兩套模具組成，兩套模具分別置于操作臺的不同工位的玻璃罩內，模具材料采用耐熱鋼、不銹鋼或陶瓷制成，彎曲和整平模具均為倒裝結構，上模固定于模座，下模加載，上、下模之間定位通過固定于模座的導柱實現。

5.根據權利要求1所述保護層為復合結構，其特征在于，保護層包含有絕熱層、散熱層、隔離層，隔離層為中間層，散熱層為里層，散熱層的散熱方向主要為垂直向下，散熱層直接與玻璃罩接觸，在玻璃罩處于被加熱狀態時，保護層包覆玻璃罩操作口及以下的外殼部分，以免除操作手套受加熱電爐的影響。