[發明專利]鉭、鈮管狀靶材生產方法在審
| 申請號： | 202011337995.2 | 申請日： | 2020-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN112593195A | 公開（公告）日： | 2021-04-02 |
| 發明（設計）人： | 柴正伍 | 申請（專利權）人： | 寶雞同盈稀有金屬有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24;B22F5/10 |
| 代理公司： | 西安尚睿致誠知識產權代理事務所(普通合伙) 61232 | 代理人： | 何凱英 |
| 地址： | 722405 陜西省寶雞市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 管狀 生產 方法 | ||
1.一種鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，包括以下步驟：
在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結劑混勻進行粘結并裝入冷壓設備冷壓成管狀錠材；
采用真空燒結爐對成型的管狀錠材進行燒結；
采用管材軋制機對燒結后的管狀錠材進行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內徑分別達到預設尺寸；
對軋制后的管狀錠材進行真空熱處理并結晶退火；
對結晶退火后的管狀錠材的內外表面進行機械加工，以使管狀錠材的外徑和內徑分別達到最終成品尺寸。
2.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，選定的鉭或鈮粉末為冶金級鉭或鈮粉末。
3.根據權利要求2所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，選定的鉭或鈮粉末平均粒徑60-120目，粉的純度大于99.95％。
4.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，所述粘結劑為酒精。
5.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，采用冷壓設備進行冷壓成型的壓力大于100MPA，保壓時間5至10分鐘。
6.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，采用真空燒結爐對成型的管狀錠材進行燒結時，燒結溫度為2250℃至2350℃，保溫69至75小時。
7.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，采用管材軋制機對燒結后的管狀錠材進行多道次軋制時，軋制機采用大兩輥管材軋制機，每道次壓下1.0mm至4.0mm。
8.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，在對軋制后的管狀錠材進行真空熱處理并結晶退火之前，所述鉭、鈮管狀靶材生產方法還包括以下步驟：
對經過多道次軋制后的管狀錠材進行除油處理。
9.根據權利要求1所述的鉭、鈮管狀靶材生產方法，其特征在于，對軋制后的管狀錠材進行真空熱處理時，真空爐溫度為1100℃至1300℃，保溫90分鐘至120分鐘。
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