[發(fā)明專利]鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011337995.2
• 申請(qǐng)日: 2020-11-25
• 公開（公告）號(hào): CN112593195A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柴正伍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寶雞同盈稀有金屬有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24;B22F5/10
• 代理公司: 西安尚睿致誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61232
• 代理人: 何凱英

本發(fā)明提供了一種鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法，包括以下步驟：在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結(jié)劑混勻進(jìn)行粘結(jié)并裝入冷壓設(shè)備冷壓成管狀錠材；采用真空燒結(jié)爐對(duì)成型的管狀錠材進(jìn)行燒結(jié)；采用管材軋制機(jī)對(duì)燒結(jié)后的管狀錠材進(jìn)行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到預(yù)設(shè)尺寸；對(duì)軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理并結(jié)晶退火；對(duì)結(jié)晶退火后的管狀錠材的內(nèi)外表面進(jìn)行機(jī)械加工，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到最終成品尺寸。采用本發(fā)明技術(shù)方案的鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法生產(chǎn)的鉭、鈮管狀靶材內(nèi)部組織一致性較好，保證濺射膜的質(zhì)量；同時(shí)靶材成才率高，有效節(jié)約生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及濺射靶材生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

磁控濺射鍍膜是一種物理氣相鍍膜方式，現(xiàn)技術(shù)已較為成熟，主要應(yīng)用于裝飾薄膜靶材，建筑玻璃、汽車玻璃、低輻射玻璃，平面顯示器，光通訊/光學(xué)工業(yè)，光數(shù)據(jù)存儲(chǔ)工業(yè)，光數(shù)據(jù)存儲(chǔ)工業(yè)，磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)工業(yè)。而鉭、鈮管狀靶材作為一種重要的金屬濺射靶材，在光學(xué)和功能玻璃鍍膜領(lǐng)域已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。

現(xiàn)有的鉭、鈮管狀靶材采用純的鉭、鈮錠材進(jìn)行打孔擠壓，熱處理和機(jī)械加工而成。通過現(xiàn)有工藝生產(chǎn)的鉭、鈮管狀靶材存在以下問題：

1)通過擠壓成型的靶材一致性差，內(nèi)部組織極度不均勻，影響濺射膜的質(zhì)量；

2)擠壓靶材成材率差，只有30-50％。生產(chǎn)成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法，以至少解決采用現(xiàn)有的鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)工藝制造的靶材一致性差，內(nèi)部組織極度不均勻的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法，包括以下步驟：在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結(jié)劑混勻進(jìn)行粘結(jié)并裝入冷壓設(shè)備冷壓成管狀錠材；采用真空燒結(jié)爐對(duì)成型的管狀錠材進(jìn)行燒結(jié)；采用管材軋制機(jī)對(duì)燒結(jié)后的管狀錠材進(jìn)行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到預(yù)設(shè)尺寸；對(duì)軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理并結(jié)晶退火；對(duì)結(jié)晶退火后的管狀錠材的內(nèi)外表面進(jìn)行機(jī)械加工，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到最終成品尺寸。

進(jìn)一步地，選定的鉭或鈮粉末為冶金級(jí)鉭或鈮粉末。

進(jìn)一步地，選定的鉭或鈮粉末平均粒徑60-120目，粉的純度大于99.95％。

進(jìn)一步地，所述粘結(jié)劑為酒精。

進(jìn)一步地，采用冷壓設(shè)備進(jìn)行冷壓成型的壓力大于100MPA，保壓時(shí)間5至10分鐘。

進(jìn)一步地，采用真空燒結(jié)爐對(duì)成型的管狀錠材進(jìn)行燒結(jié)時(shí)，燒結(jié)溫度2250℃至2350℃，保溫69至75小時(shí)。

進(jìn)一步地，采用管材軋制機(jī)對(duì)燒結(jié)后的管狀錠材進(jìn)行多道次軋制時(shí)，軋制機(jī)采用大兩輥管材軋制機(jī)，每道次壓下1.0mm至4.0mm。

進(jìn)一步地，在對(duì)軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理并結(jié)晶退火之前，所述鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法還包括以下步驟：對(duì)經(jīng)過多道次軋制后的管狀錠材進(jìn)行除油處理。

進(jìn)一步地，對(duì)軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理時(shí)，真空爐溫度為1100℃至1300℃，保溫90分鐘至120分鐘。

應(yīng)用本發(fā)明技術(shù)方案的鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法，包括以下步驟：在選定的鉭或鈮粉末中加入粘結(jié)劑混勻進(jìn)行粘結(jié)并裝入冷壓設(shè)備冷壓成管狀錠材；采用真空燒結(jié)爐對(duì)成型的管狀錠材進(jìn)行燒結(jié)；采用管材軋制機(jī)對(duì)燒結(jié)后的管狀錠材進(jìn)行多道次軋制，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到預(yù)設(shè)尺寸；對(duì)軋制后的管狀錠材進(jìn)行真空熱處理并結(jié)晶退火；對(duì)結(jié)晶退火后的管狀錠材的內(nèi)外表面進(jìn)行機(jī)械加工，以使管狀錠材的外徑和內(nèi)徑分別達(dá)到最終成品尺寸。采用本發(fā)明技術(shù)方案的鉭、鈮管狀靶材生產(chǎn)方法生產(chǎn)的鉭、鈮管狀靶材內(nèi)部組織一致性較好，保證濺射膜的質(zhì)量；同時(shí)靶材成才率高，有效節(jié)約生產(chǎn)成本。

附圖說明