[發(fā)明專利]一種用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011326725.1
• 申請(qǐng)日: 2020-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN112490151A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋冠杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京秋杰通訊科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B5/02;B01D46/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及一種用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備，包括工作臺(tái)、平移板和鏡頭，所述工作臺(tái)水平設(shè)置，所述平移板水平設(shè)置在工作臺(tái)的頂部，所述平移板的底部設(shè)有平移裝置，所述鏡頭的形狀為圓柱形，所述鏡頭豎向設(shè)置在平移板的上方，所述鏡頭上設(shè)有升降裝置，所述鏡頭上設(shè)有輔助機(jī)構(gòu)和清潔機(jī)構(gòu)，所述輔助機(jī)構(gòu)包括支撐環(huán)、兩個(gè)氣缸和兩個(gè)輔助組件，所述輔助組件包括移動(dòng)管、移動(dòng)盤、吸盤、第一彈簧、安裝孔和兩個(gè)傳動(dòng)單元，所述傳動(dòng)單元包括限位塊、導(dǎo)桿、第二彈簧、定滑輪、連接線和導(dǎo)孔，該用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備通過輔助機(jī)構(gòu)提高了測(cè)量的精確度，不僅如此，還通過清潔機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了除塵的功能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片制作設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備。

背景技術(shù)

芯片是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱，又稱微電路、微芯片、集成電路。而芯片在封裝過程中，需要將晶片通過膠貼裝在基板上，晶片貼裝完畢后，需要對(duì)晶片貼裝位置進(jìn)行抽檢，而測(cè)量顯微鏡則是測(cè)量晶片位置的設(shè)備。

現(xiàn)有的測(cè)量顯微鏡在使用過程中，受到振動(dòng)時(shí)易導(dǎo)致鏡頭與晶片之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)，從而降低了測(cè)量的精確度，不僅如此，測(cè)量顯微鏡長期使用后，鏡頭上會(huì)產(chǎn)生灰塵，而灰塵則會(huì)對(duì)鏡頭造成遮擋，降低了實(shí)用性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種用于芯片貼裝工序的高精度測(cè)量設(shè)備，包括工作臺(tái)、平移板和鏡頭，所述工作臺(tái)水平設(shè)置，所述平移板水平設(shè)置在工作臺(tái)的頂部，所述平移板的底部設(shè)有平移裝置，所述鏡頭的形狀為圓柱形，所述鏡頭豎向設(shè)置在平移板的上方，所述鏡頭上設(shè)有升降裝置，所述鏡頭上設(shè)有輔助機(jī)構(gòu)和清潔機(jī)構(gòu)；

所述輔助機(jī)構(gòu)包括支撐環(huán)、兩個(gè)氣缸和兩個(gè)輔助組件，所述支撐環(huán)與鏡頭同軸設(shè)置，所述鏡頭穿過支撐環(huán)且與支撐環(huán)滑動(dòng)連接，所述氣缸以鏡頭的軸線為中心周向均勻分布在支撐環(huán)的上方，所述氣缸固定在鏡頭上且驅(qū)動(dòng)支撐環(huán)沿著鏡頭升降，所述輔助組件與氣管一一對(duì)應(yīng)且設(shè)置在支撐環(huán)上；

所述輔助組件包括移動(dòng)管、移動(dòng)盤、吸盤、第一彈簧、安裝孔和兩個(gè)傳動(dòng)單元，所述安裝孔設(shè)置在支撐環(huán)上，所述移動(dòng)管豎向穿過安裝孔且與安裝孔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述吸盤安裝在移動(dòng)管的底端且位于平移板的上方，所述移動(dòng)盤和第一彈簧均設(shè)置在移動(dòng)管內(nèi)，所述移動(dòng)盤與移動(dòng)管的內(nèi)壁滑動(dòng)且密封連接，所述第一彈簧設(shè)置在移動(dòng)盤的頂部，所述移動(dòng)盤通過第一彈簧與移動(dòng)管的內(nèi)壁連接，所述傳動(dòng)單元以移動(dòng)管的軸線為中心周向均勻分布；

所述傳動(dòng)單元包括限位塊、導(dǎo)桿、第二彈簧、定滑輪、連接線和導(dǎo)孔，所述定滑輪固定在移動(dòng)管的頂端，所述導(dǎo)孔設(shè)置在支撐環(huán)上，所述導(dǎo)桿與移動(dòng)管平行且穿過導(dǎo)孔，所述導(dǎo)桿與導(dǎo)孔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述導(dǎo)桿的頂端與移動(dòng)管固定連接，所述限位塊固定在導(dǎo)桿的頂端且與支撐環(huán)抵靠，所述支撐環(huán)的底部通過第二彈簧與導(dǎo)桿的底端連接，所述連接線的一端固定在移動(dòng)盤的頂部，所述連接線的另一端繞過定滑輪固定在支撐環(huán)的頂部；

所述清潔機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)清潔組件，所述清潔組件與移動(dòng)管一一對(duì)應(yīng)且位于移動(dòng)管和鏡頭之間；

所述清潔組件包括氣管、齒條、齒輪、扇葉、單向軸承、傳動(dòng)軸、連接軸承、連接環(huán)和至少兩個(gè)過濾單元，所述氣管的軸線與鏡頭的軸線垂直且相交，所述氣管位于鏡頭和平移板之間且與鏡頭固定連接，所述扇葉、連接軸承和連接環(huán)均設(shè)置在氣管內(nèi)，所述傳動(dòng)軸和連接環(huán)均與氣管同軸設(shè)置，所述扇葉安裝在傳動(dòng)軸的靠近鏡頭軸線的一端，所述單向軸承的內(nèi)圈安裝在傳動(dòng)軸的另一端，所述齒輪安裝在單向軸承外圈且與齒條嚙合，所述齒條固定在支撐環(huán)的底部，所述連接軸承的內(nèi)圈安裝在傳動(dòng)軸上，所述連接軸承的外圈與氣管的內(nèi)壁固定連接，所述傳動(dòng)軸穿過連接環(huán)，所述傳動(dòng)軸與連接環(huán)固定且密封連接，所述連接環(huán)與氣管的內(nèi)壁滑動(dòng)且密封連接，所述過濾單元以傳動(dòng)軸的軸線為中心周向均勻分布在連接環(huán)上；