[發(fā)明專利]一種用于芯片貼裝工序的高精度測量設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011326725.1
• 申請日: 2020-11-24
• 公開（公告）號: CN112490151A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 韋冠杰
• 申請（專利權）人: 南京秋杰通訊科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B5/02;B01D46/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于芯片貼裝工序的高精度測量設備，包括工作臺(1)、平移板(2)和鏡頭(3)，所述工作臺(1)水平設置，所述平移板(2)水平設置在工作臺(1)的頂部，所述平移板(2)的底部設有平移裝置，所述鏡頭(3)的形狀為圓柱形，所述鏡頭(3)豎向設置在平移板(2)的上方，所述鏡頭(3)上設有升降裝置，其特征在于，所述鏡頭(3)上設有輔助機構和清潔機構；

所述輔助機構包括支撐環(huán)(4)、兩個氣缸(5)和兩個輔助組件，所述支撐環(huán)(4)與鏡頭(3)同軸設置，所述鏡頭(3)穿過支撐環(huán)(4)且與支撐環(huán)(4)滑動連接，所述氣缸(5)以鏡頭(3)的軸線為中心周向均勻分布在支撐環(huán)(4)的上方，所述氣缸(5)固定在鏡頭(3)上且驅動支撐環(huán)(4)沿著鏡頭(3)升降，所述輔助組件與氣管(15)一一對應且設置在支撐環(huán)(4)上；

所述輔助組件包括移動管(6)、移動盤(7)、吸盤(8)、第一彈簧(9)、安裝孔和兩個傳動單元，所述安裝孔設置在支撐環(huán)(4)上，所述移動管(6)豎向穿過安裝孔且與安裝孔的內壁滑動連接，所述吸盤(8)安裝在移動管(6)的底端且位于平移板(2)的上方，所述移動盤(7)和第一彈簧(9)均設置在移動管(6)內，所述移動盤(7)與移動管(6)的內壁滑動且密封連接，所述第一彈簧(9)設置在移動盤(7)的頂部，所述移動盤(7)通過第一彈簧(9)與移動管(6)的內壁連接，所述傳動單元以移動管(6)的軸線為中心周向均勻分布；

所述傳動單元包括限位塊(10)、導桿(11)、第二彈簧(12)、定滑輪(13)、連接線(14)和導孔，所述定滑輪(13)固定在移動管(6)的頂端，所述導孔設置在支撐環(huán)(4)上，所述導桿(11)與移動管(6)平行且穿過導孔，所述導桿(11)與導孔的內壁滑動連接，所述導桿(11)的頂端與移動管(6)固定連接，所述限位塊(10)固定在導桿(11)的頂端且與支撐環(huán)(4)抵靠，所述支撐環(huán)(4)的底部通過第二彈簧(12)與導桿(11)的底端連接，所述連接線(14)的一端固定在移動盤(7)的頂部，所述連接線(14)的另一端繞過定滑輪(13)固定在支撐環(huán)(4)的頂部；

所述清潔機構包括兩個清潔組件，所述清潔組件與移動管(6)一一對應且位于移動管(6)和鏡頭(3)之間；

所述清潔組件包括氣管(15)、齒條(16)、齒輪(17)、扇葉(32)、單向軸承(18)、傳動軸(19)、連接軸承(20)、連接環(huán)(21)和至少兩個過濾單元，所述氣管(15)的軸線與鏡頭(3)的軸線垂直且相交，所述氣管(15)位于鏡頭(3)和平移板(2)之間且與鏡頭(3)固定連接，所述扇葉(32)、連接軸承(20)和連接環(huán)(21)均設置在氣管(15)內，所述傳動軸(19)和連接環(huán)(21)均與氣管(15)同軸設置，所述扇葉(32)安裝在傳動軸(19)的靠近鏡頭(3)軸線的一端，所述單向軸承(18)的內圈安裝在傳動軸(19)的另一端，所述齒輪(17)安裝在單向軸承(18)外圈且與齒條(16)嚙合，所述齒條(16)固定在支撐環(huán)(4)的底部，所述連接軸承(20)的內圈安裝在傳動軸(19)上，所述連接軸承(20)的外圈與氣管(15)的內壁固定連接，所述傳動軸(19)穿過連接環(huán)(21)，所述傳動軸(19)與連接環(huán)(21)固定且密封連接，所述連接環(huán)(21)與氣管(15)的內壁滑動且密封連接，所述過濾單元以傳動軸(19)的軸線為中心周向均勻分布在連接環(huán)(21)上；

所述過濾單元包括濾網(wǎng)(22)、輔助盤(23)、輔助桿(24)、第一滑塊(25)、第三彈簧(26)、連桿(27)、濾孔和至少兩個導向單元，所述濾孔設置在連接環(huán)(21)上，所述濾孔的軸線與傳動軸(19)平行，所述濾網(wǎng)(22)安裝在濾孔內，所述輔助盤(23)與濾孔同軸設置，所述輔助盤(23)設置在濾孔內且與濾孔的內壁滑動連接，所述輔助盤(23)的靠近鏡頭(3)軸線的一側涂有膠水且與濾網(wǎng)(22)抵靠，所述輔助桿(24)的軸線與傳動軸(19)的軸線垂直且相交，所述輔助桿(24)位于連接環(huán)(21)的遠離鏡頭(3)軸線的一側，所述輔助桿(24)固定在傳動軸(19)上，所述第一滑塊(25)套設在輔助桿(24)上，所述第三彈簧(26)位于第一滑塊(25)和傳動軸(19)之間，所述第一滑塊(25)通過第三彈簧(26)與傳動軸(19)連接，所述第一滑塊(25)通過連桿(27)與輔助盤(23)鉸接，所述連桿(27)的靠近輔助盤(23)的一端與傳動軸(19)之間的距離小于連桿(27)的另一端與傳動軸(19)之間的距離，所述導向單元以濾孔的軸線為中心周向均勻分布在連接環(huán)(21)的遠離鏡頭(3)軸線的一側；

所述導線單元包括支撐桿(28)和第二滑塊(29)，所述支撐桿(28)與傳動軸(19)平行且固定在連接環(huán)(21)上，所述第二滑塊(29)套設在支撐桿(28)上且與輔助盤(23)固定連接。