[發明專利]一種MASK目視檢查機

在審

• 申請號: 202011324027.8
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112345525A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 王景新;張建國
• 申請（專利權）人: 深圳清溢光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

本申請公開一種MASK目視檢查機，用于對掩膜版的各生產工序進行檢查并與取放版機械手進行對接，包括檢查機主體、旋轉機構、可在任意角度目視檢測MASK正反面的裝夾平臺，所述裝夾平臺包括平臺底架、兩個對稱設置于底架左右兩邊的傳動機構、兩個與對應的傳動機構裝配在一起并可相對于所述平臺底架進行左右移動的裝夾板，該MASK目視檢查機在取放版、不同規格調整、角度旋轉的操作均實現自動操作，可針對MASK尺寸進行裝夾調整并兼容不同規格的MASK，檢查過程角度可自動旋轉并任意角度停止，可一次裝夾檢查正反面及在不同角度檢查，與上下版機械手實現無縫對接，省去人工抬版的過程并實現MASK車間自動化。

技術領域

本申請涉及MASK設備技術領域，尤其涉及一種MASK目視檢查機。

背景技術

MASK(掩膜版)的生產工序，包括曝光、顯影、蝕刻、清洗、CD測量、TP測量、MURA條紋目視檢查、AOI、LCVD修補、貼膜等工序。MURA條紋目視檢查，目前行業內的方法是，人工抬版將MASK放在一個固定的水平中空支撐臺上，然后在暗室用射燈照射，工人目視檢查；檢查另一面時，則需工人將MASK抬起，翻轉后再放到支撐臺上，然后在暗室用射燈照射，繼續目視檢查；某一種規格的MASK需對應的中空支撐臺，不同規格則需多種中空支撐臺。這種方法，檢查小尺寸MASK倒很方便，但如果是檢查8代以上的大尺寸MASK就有諸多不便了。大尺寸MASK重達幾十公斤，人工兩次抬版比較吃力，在抬版時也容易沾染指紋污染膜面，如果不小心磕碰，易造成MASK損傷報廢；有時需從不同視角查看MURA條紋，而固定的中空支撐臺無法改變角度，只能工人彎曲身體在不同角度查看，長期彎腰工作也比較累；由于MASK的中空支撐臺的位置不可調，且不可調整規格，無法與自動化MASK車間中的取放版機械手對接。

亟需一種取放版、不同規格調整、角度旋轉的操作均實現自動操作，可針對MASK尺寸進行裝夾調整并兼容不同規格的MASK，檢查過程角度可自動旋轉并任意角度停止，可一次裝夾檢查正反面及在不同角度檢查，與上下版機械手實現無縫對接，省去人工抬版的過程并實現MASK車間自動化的MASK目視檢查機。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種MASK目視檢查機，該MASK目視檢查機在取放版、不同規格調整、角度旋轉的操作均實現自動操作，可針對MASK尺寸進行裝夾調整并兼容不同規格的MASK，檢查過程角度可自動旋轉并任意角度停止，可一次裝夾檢查正反面及在不同角度檢查，與上下版機械手實現無縫對接，省去人工抬版的過程并實現MASK車間自動化。

為解決上述技術問題，本發明提供一種MASK目視檢查機，用于對掩膜版的各生產工序進行檢查并與取放版機械手進行對接，包括檢查機主體、設置于檢查機主體上的旋轉機構、與旋轉機構裝配在一起并可相對于旋轉機構進行自由旋轉從而保證可在任意角度目視檢測MASK正反面的裝夾平臺，所述裝夾平臺包括平臺底架、兩個對稱設置于底架左右兩邊的傳動機構、兩個對稱設置于平臺底架左右兩側并對所述傳動機構進行驅動控制的第一驅動結構、兩個與對應的傳動機構裝配在一起并可相對于所述平臺底架進行左右移動的裝夾板，各個所述第一驅動結構與對應的所述傳動機構裝配在一起，兩個所述第一驅動機構通過對應的所述傳動機構帶動所述裝夾板對MASK進行夾緊。

優選地，所述檢查機主體包括主體底架、設置于主體底架左右兩支柱上的可在MASK上下板時將所述裝夾平臺的旋轉角度進行鎖緊并防止上下板與機械手交接時出現裝夾平臺旋轉角度變化的平臺鎖緊氣缸。

優選地，所述旋轉機構包括兩個設置于所述主體底架左右兩側支柱上的支撐座、兩個設置于與所述支撐座上的減速機、兩個與對應所述減速機裝配在一起的第二驅動結構、兩個與對應所述減速機裝配在一起的聯軸器、兩根與對應的所述聯軸器裝配在一起的連接軸，所述裝夾平臺左右兩端分別與對應所述連接軸的背離所述聯軸器的一端裝配在一起。

優選地，所述旋轉機構還包括若干設置于所述支撐座上的用于檢測所述裝夾平臺所述處位置的第一感應開關，其中，所述裝夾平臺所處位置包括上料位、下料位、正面檢測位及反檢測位。