[發明專利]一種MASK目視檢查機

在審

• 申請號: 202011324027.8
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112345525A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 王景新;張建國
• 申請（專利權）人: 深圳清溢光電股份有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

1.一種MASK目視檢查機，用于對掩膜版的各生產工序進行檢查并與取放版機械手進行對接，其特征在于，包括檢查機主體、設置于檢查機主體上的旋轉機構、與旋轉機構裝配在一起并可相對于旋轉機構進行自由旋轉從而保證可在任意角度目視檢測MASK正反面的裝夾平臺，所述裝夾平臺包括平臺底架、兩個對稱設置于底架左右兩邊的傳動機構、兩個對稱設置于平臺底架左右兩側并對所述傳動機構進行驅動控制的第一驅動結構、兩個與對應的傳動機構裝配在一起并可相對于所述平臺底架進行左右移動的裝夾板，各個所述第一驅動結構與對應的所述傳動機構裝配在一起，兩個所述第一驅動機構通過對應的所述傳動機構帶動所述裝夾板對MASK進行夾緊。

2.根據權利要求1所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述檢查機主體包括主體底架、設置于主體底架左右兩支柱上的可在MASK上下板時將所述裝夾平臺的旋轉角度進行鎖緊并防止上下板與機械手交接時出現裝夾平臺旋轉角度變化的平臺鎖緊氣缸。

3.根據權利要求2所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述旋轉機構包括兩個設置于所述主體底架左右兩側支柱上的支撐座、兩個設置于與所述支撐座上的減速機、兩個與對應所述減速機裝配在一起的第二驅動結構、兩個與對應所述減速機裝配在一起的聯軸器、兩根與對應的所述聯軸器裝配在一起的連接軸，所述裝夾平臺左右兩端分別與對應所述連接軸的背離所述聯軸器的一端裝配在一起。

4.根據權利要求1所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述旋轉機構還包括若干設置于所述支撐座上的用于檢測所述裝夾平臺所述處位置的第一感應開關，其中，所述裝夾平臺所處位置包括上料位、下料位、正面檢測位及反檢測位。

5.根據權利要求4所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述第一感應開關分別設置在所述裝夾平臺相對于所述檢查機主體旋轉角度的正極限位、負極限位及原點位置。

6.根據權利要求4所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述裝夾板上沿垂直于所述裝夾板移動方向的前后端分別設置有一用于將裝夾板進行鎖定的裝夾板鎖定氣缸。

7.根據權利要求4所述的MASK目視檢查機，其特征在于，各個所述傳動機構包括兩個沿所述裝夾板移動方向設置于所述平臺底架前后端上并與對應的所述裝夾板裝配在一起的導軌，在所述平臺底架上沿所述裝夾板移動方向設置有檢測所述裝夾板原點及極限位置的第二感應開關。

8.根據權利要求4所述的MASK目視檢查機，其特征在于，兩個所述裝夾板沿著所述導軌移動方向的相對面上設置有用于夾緊所述MASK的靠墊。

9.根據權利要求8所述的MASK目視檢查機，其特征在于，各個所述裝夾板上分別設置有用于檢測MASK是否裝夾好的裝夾感應開關，所述第一驅動結構通過傳動機構帶動所述裝夾板的靠墊夾緊MASK,所述第一驅動結構控制左右兩側裝夾板的位置，左右兩側裝夾板可裝夾從三代至十代的各種規格尺寸的MASK。

10.根據權利要求4所述的MASK目視檢查機，其特征在于，所述旋轉機構可旋轉驅動所述裝夾平臺相對于所述檢查機主體進行180度范圍旋轉，從而通過MASK目視檢查機對MASK進行正面檢查及反檢查。