[發明專利]一種具有廢料回收結構的半導體生產裝置

在審

• 申請號: 202011317563.5
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112549335A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 龔旭敏
• 申請（專利權）人: 龔旭敏
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及半導體生產技術領域，尤其是一種具有廢料回收結構的半導體生產裝置，包括底板，所述底板的下側壁四角均固定安裝有支撐腿，所述底板的上側壁兩側對稱固定安裝有側板；通過設置第三導屑管、接屑盒和過濾網，使得在硅晶柱被切割的過程中，吸風機同步工作，而使濾屑管的內腔得空氣排出，產生負壓，進而使的在硅晶切割的過程中產生的硅屑通過接屑盒被吸入第二導屑管的內腔，然后依次經過伸縮管、第三導屑管和濾屑管，在硅屑到達過濾網時，過濾網可以有效對硅屑進行過濾，并由于重力的作用落在集屑筒的內腔，從而實現對硅屑進行收集，從而便于再次融解制成硅晶柱，有效節約整個半導體生產的成本。

技術領域

本發明涉及半導體生產技術領域，尤其涉及一種具有廢料回收結構的半導體生產裝置。

背景技術

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種。

晶圓的切割作為半導體生產的重要步驟，直接關系到半導體生產的成敗，晶圓制造廠再把此多晶硅融解，再于融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態的硅原料中逐漸生成，此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經過切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為積體電路工廠的基本原料——硅晶圓片，這就是“晶圓”，目前在晶圓切割過程中往往會產生大量的硅屑，不僅影響切割環境，而且造成大量半導體生產原料的浪費。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種具有廢料回收結構的半導體生產裝置。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

設計一種具有廢料回收結構的半導體生產裝置，包括底板，所述底板的下側壁四角均固定安裝有支撐腿，所述底板的上側壁兩側對稱固定安裝有側板，兩組所述支撐腿遠離所述底板的一端固定安裝有頂板，兩組所述側板之間滑動安裝有滑板，所述滑板的四角均螺紋安裝有絲桿，各組所述絲桿的兩端分別與所述底板和所述頂板轉動連接，所述頂板的頂端設有驅動裝置，所述滑板的上側壁兩側均滑動安裝有夾座，兩組所述夾座之間螺紋安裝有螺桿，所述螺桿轉動安裝于所述滑板的內腔，所述螺桿的外側中心處固定安裝有第一齒輪，所述第一齒輪的下側壁嚙合安裝有第二齒輪，所述滑板的下側壁固定安裝有第二步進電機，所述第二步進電機的輸出端與所述第二齒輪固定連接，兩組所述夾座的相對側均固定安裝有夾塊，所述夾塊遠離所述夾座的一側固定安裝有橡膠墊片，所述滑板的上側壁中心處固定安裝有支撐座，所述支撐座的上側壁中心處開設有凹槽，所述凹槽的內腔均勻轉動安裝有滾輪，所述支撐座的后側壁固定安裝有固定座，所述固定座的內腔固定安裝有推料氣缸，所述滑板的頂端前側設有固定裝置，所述支撐座的前側壁固定安裝有接屑盒，所述接屑盒的下側壁固定安裝有第二導屑管，所述第二導屑管貫穿所述支撐座和所述滑板延伸至所述滑板的下側壁，所述第二導屑管遠離所述接屑盒的一端固定安裝有伸縮管，所述伸縮管遠離所述第二導屑管的一端固定安裝有第三導屑管，所述第三導屑管貫穿所述底板延伸至所述底板的下側，所述第三導屑管與所述底板固定連接，所述第三導屑管遠離所述伸縮管的一端固定安裝有濾屑管，所述夾座的內腔設有收集裝置，兩組所述側板的相對側壁均固定安裝有導向輪架，所述導向輪架的內腔轉動安裝有導向輪，兩組所述導向輪架的頂端設有張緊輪架，所述張緊輪架與所述側板轉動連接，所述張緊輪架遠離所述側板的一端轉動安裝有張緊輪，所述張緊輪架的外側轉動安裝有彈性伸縮桿，所述彈性伸縮桿遠離所述張緊輪架的一端與所述側板轉動連接，所述頂板的下側壁中心處轉動安裝有電機驅動的驅動輪，所述驅動輪的外側卷繞有金剛線，所述金剛線貫穿所述張緊輪和所述導向輪的外側。