[發(fā)明專利]一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011317563.5
• 申請日: 2020-11-23
• 公開（公告）號: CN112549335A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔旭敏
• 申請（專利權(quán)）人: 龔旭敏
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，包括底板(1),其特征在于，所述底板(1)的下側(cè)壁四角均固定安裝有支撐腿(2)，所述底板(1)的上側(cè)壁兩側(cè)對稱固定安裝有側(cè)板(3)，兩組所述支撐腿(2)遠(yuǎn)離所述底板(1)的一端固定安裝有頂板(4)，兩組所述側(cè)板(3)之間滑動安裝有滑板(5)，所述滑板(5)的四角均螺紋安裝有絲桿(6)，各組所述絲桿(6)的兩端分別與所述底板(1)和所述頂板(4)轉(zhuǎn)動連接，所述頂板(4)的頂端設(shè)有驅(qū)動裝置，所述滑板(5)的上側(cè)壁兩側(cè)均滑動安裝有夾座(15)，兩組所述夾座(15)之間螺紋安裝有螺桿(16)，所述螺桿(16)轉(zhuǎn)動安裝于所述滑板(5)的內(nèi)腔，所述螺桿(16)的外側(cè)中心處固定安裝有第一齒輪(17)，所述第一齒輪(17)的下側(cè)壁嚙合安裝有第二齒輪(18)，所述滑板(5)的下側(cè)壁固定安裝有第二步進電機(21)，所述第二步進電機(21)的輸出端與所述第二齒輪(18)固定連接，兩組所述夾座(15)的相對側(cè)均固定安裝有夾塊(19)，所述夾塊(19)遠(yuǎn)離所述夾座(15)的一側(cè)固定安裝有橡膠墊片(20)，所述滑板(5)的上側(cè)壁中心處固定安裝有支撐座(23)，所述支撐座(23)的上側(cè)壁中心處開設(shè)有凹槽(24)，所述凹槽(24)的內(nèi)腔均勻轉(zhuǎn)動安裝有滾輪(25)，所述支撐座(23)的后側(cè)壁固定安裝有固定座(44)，所述固定座(44)的內(nèi)腔固定安裝有推料氣缸(45)，所述滑板(5)的頂端前側(cè)設(shè)有固定裝置，所述支撐座(23)的前側(cè)壁固定安裝有接屑盒(42)，所述接屑盒(42)的下側(cè)壁固定安裝有第二導(dǎo)屑管(43)，所述第二導(dǎo)屑管(43)貫穿所述支撐座(23)和所述滑板(5)延伸至所述滑板(5)的下側(cè)壁，所述第二導(dǎo)屑管(43)遠(yuǎn)離所述接屑盒(42)的一端固定安裝有伸縮管(49)，所述伸縮管(49)遠(yuǎn)離所述第二導(dǎo)屑管(43)的一端固定安裝有第三導(dǎo)屑管(50)，所述第三導(dǎo)屑管(50)貫穿所述底板(1)延伸至所述底板(1)的下側(cè)，所述第三導(dǎo)屑管(50)與所述底板(1)固定連接，所述第三導(dǎo)屑管(50)遠(yuǎn)離所述伸縮管(49)的一端固定安裝有濾屑管(51)，所述夾座(15)的內(nèi)腔設(shè)有收集裝置，兩組所述側(cè)板(3)的相對側(cè)壁均固定安裝有導(dǎo)向輪架(28)，所述導(dǎo)向輪架(28)的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動安裝有導(dǎo)向輪(29)，兩組所述導(dǎo)向輪架(28)的頂端設(shè)有張緊輪架(30)，所述張緊輪架(30)與所述側(cè)板(3)轉(zhuǎn)動連接，所述張緊輪架(30)遠(yuǎn)離所述側(cè)板(3)的一端轉(zhuǎn)動安裝有張緊輪(32)，所述張緊輪架(30)的外側(cè)轉(zhuǎn)動安裝有彈性伸縮桿(31)，所述彈性伸縮桿(31)遠(yuǎn)離所述張緊輪架(30)的一端與所述側(cè)板(3)轉(zhuǎn)動連接，所述頂板(4)的下側(cè)壁中心處轉(zhuǎn)動安裝有電機驅(qū)動的驅(qū)動輪(33)，所述驅(qū)動輪(33)的外側(cè)卷繞有金剛線(34)，所述金剛線(34)貫穿所述張緊輪(32)和所述導(dǎo)向輪(29)的外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置包括蝸輪(7)，所述蝸輪(7)固定安裝于所述絲桿(6)遠(yuǎn)離所述底板(1)的一端，所述頂板(4)的上側(cè)壁四角對稱固定安裝有第一支撐塊(8)，相鄰兩組所述第一支撐塊(8)之間轉(zhuǎn)動安裝有蝸桿(9)，所述蝸桿(9)與所述蝸輪(7)嚙合連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，其特征在于，兩組所述蝸桿(9)的右端均固定安裝有主動齒輪(10)，兩組所述主動齒輪(10)之間設(shè)有傳動軸(12)，所述傳動軸(12)的兩端均轉(zhuǎn)動安裝有第二支撐塊(11)，兩組所述第二支撐塊(11)均與所述頂板(4)固定連接，所述傳動軸(12)的兩側(cè)均固定安裝有從動齒輪(13)，兩組所述從動齒輪(13)分別與兩組所述主動齒輪(10)嚙合連接，前側(cè)所述蝸桿(9)的左端固定安裝有第一步進電機(14)，所述第一步進電機(14)與所述頂板(4)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，其特征在于，所述第二步進電機(21)的下側(cè)壁固定安裝有電機罩(22)，所述電機罩(22)與所述滑板(5)的下側(cè)壁固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有廢料回收結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置，其特征在于，所述支撐座(23)的上側(cè)壁兩側(cè)對稱開設(shè)有滾珠槽(26)，所述滾珠槽(26)的內(nèi)腔均轉(zhuǎn)動安裝有滾珠(27)。