[發(fā)明專利]用于集成電路封裝制程的檢測系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011316817.1
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN112289699A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁青松;李超;鐘鴻儒
• 申請（專利權(quán)）人: 日月光半導(dǎo)體（昆山）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種用于集成電路封裝制程的檢測系統(tǒng)，其特征在于，包括：

控制顯示子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以在被觸發(fā)后發(fā)送檢測控制指令集；

檢測子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以根據(jù)所述檢測控制指令集對(duì)待檢測樣品上的一個(gè)或多個(gè)圖案化特征進(jìn)行檢測，以產(chǎn)生與所述待檢測樣品相關(guān)的檢測信息；

數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以將所述檢測信息與所述待檢測樣品的初始輸入信息進(jìn)行比對(duì)，并生成比對(duì)結(jié)果信息；及

存儲(chǔ)子系統(tǒng)，其經(jīng)配置以存儲(chǔ)所述待檢測樣品的所述初始輸入信息、所述檢測信息和所述比對(duì)結(jié)果信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)包括：

讀取器，其經(jīng)配置以在接收到所述檢測控制指令集中的第一控制指令時(shí)識(shí)別所述一個(gè)或多個(gè)圖案化特征。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

CCD裝置，其經(jīng)配置以在接收到所述檢測控制指令集中的第二控制指令時(shí)，執(zhí)行對(duì)所述待檢測樣品的成像操作，以獲取所述待檢測樣品的成像圖像。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

一個(gè)或多個(gè)第一光源，其經(jīng)配置以在接收到所述第二控制指令時(shí)開啟，以照射所述待檢測樣品。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

顯微鏡裝置，其經(jīng)配置以在接收到所述檢測控制指令集中的第三控制指令時(shí)，收集所述待檢測樣品的視覺影像，所述CCD裝置對(duì)所述視覺影像成像以獲取所述成像圖像。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

第二光源，其經(jīng)配置以在接收到所述第三控制指令時(shí)開啟，以照射所述待檢測樣品。

7.根據(jù)權(quán)利要6所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測子系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

檢測平臺(tái)，所述待檢測樣品、所述讀取器、所述CCD裝置、所述一個(gè)或多個(gè)第一光源、所述顯微鏡裝置、所述第二光源均安置于所述檢測平臺(tái)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測信息包括以下之一或其任意組合：批號(hào)、樣品編號(hào)、成像圖像、檢測時(shí)間。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述一個(gè)或多個(gè)圖案化特征包括以下之一或其任意組合：一維碼、二維碼。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述讀取器識(shí)別的所述圖案化特征為一維碼時(shí)，所述檢測信息至少包括所述待檢測樣品的批號(hào)。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述讀取器識(shí)別的所述圖案化特征為二維碼時(shí)，所述檢測信息至少包括所述待檢測樣品的樣品編號(hào)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制顯示子系統(tǒng)還進(jìn)一步經(jīng)配置以對(duì)所述檢測信息通過顯示裝置進(jìn)行顯示。

13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述初始輸入信息包括所述待檢測樣品的初始樣品數(shù)量；

所述數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)進(jìn)一步經(jīng)配置以從所述待檢測樣品的所述成像圖像中獲取實(shí)際樣品數(shù)量，并將所述實(shí)際樣品數(shù)量與所述初始樣品數(shù)量進(jìn)行比對(duì)，并生成所述比對(duì)結(jié)果信息。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，在所述比對(duì)結(jié)果信息指示所述實(shí)際樣品數(shù)量與所述初始樣品數(shù)量不一致時(shí)，所述數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)生成報(bào)警信息。