[發明專利]一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺

有效

• 申請號: 202011313832.0
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112454291B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 袁莉民;叢天孺
• 申請（專利權）人: 揚州大學
• 主分類號: B25H1/06
• 分類號: B25H1/06;B25H1/10;B25H1/16;B25H1/12
• 代理公司: 揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

本發明涉及一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，包括樣品臺底托、樣品升降臺；所述樣品臺底托上設有底托螺紋通孔，樣品升降臺的外側設有與底托螺紋通孔相匹配的外螺紋，樣品升降臺通過外螺紋旋于底托螺紋通孔內，樣品臺底托與樣品升降臺螺紋連接；所述樣品臺底托底部中心位置設有用于與SEM載物臺連接的固定支柱，樣品臺底托上部設有功能支架；通過本發明，對不同形狀、不同大小的塊狀樣品均能固定。解決了復數、高度差異明顯的小塊樣品無法同時觀察的問題。解決了在綜合分析時復數小塊樣品同時處于SEM的最佳工作距離的問題，在保證設備安全的同時，提高樣品選區分析數據的準確度和可靠性。

技術領域

本發明涉及一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，屬于掃描電鏡（SEM）樣品載物臺技術領域。

背景技術

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質間的相互作用, 來激發各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm；放大倍數可以達到30萬倍及以上連續可調;并且景深大, 視野大,成像立體效果好。此外, 掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合, 可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質微區成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應用。

在實際應用中經常會出現復數試樣即有多個塊狀試樣待觀察的情況，由于其高度差異大，需逐一觀察。故樣品室卸去真空，打開艙門，裝換樣品，抽真空，觀察，直到再開始新一輪的裝換樣品操作。如此反復，造成能源及時間上的浪費。此外，復數塊狀小試樣同時放入真空室內，在觀察時難以在保證設備安全的情況下，使不同高度的樣品同時處于設備性能的最佳工作距離，無法保證測試結果的精確度與可靠性。

發明內容

本發明目的是針對上述問題，提供一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，用于解決樣品固定困難以及無法同時固定復數高低不同的樣品的問題。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的，一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：包括樣品臺底托、樣品升降臺；

所述樣品臺底托上設有底托螺紋通孔，樣品升降臺的外側設有與底托螺紋通孔相匹配的外螺紋，樣品升降臺通過外螺紋旋于底托螺紋通孔內，樣品臺底托與樣品升降臺螺紋連接；

所述樣品臺底托底部中心位置設有用于與SEM載物臺連接的固定支柱，樣品臺底托上部設有功能支架；

所述樣品臺底托上部設有若干個連接螺紋孔，功能支架上設有與若干個連接螺紋孔位置對應的若干個連接通孔，還設有若干連接螺釘，每個連接螺釘旋緊于對應的功能支架上連接通孔、樣品臺底托上連接螺紋孔，使功能支架固定于樣品臺底托上；

所述功能支架的側壁設有復數個螺紋通孔，每個螺紋通孔上旋有緊固螺釘。

所述樣品臺底托上均勻設有4個底托螺紋通孔，每個底托螺紋通孔內均旋有1個樣品升降臺。

所述連接螺紋孔的數量為4個，4個連接螺紋孔均勻設置于樣品臺底托上部外緣。

所述螺紋通孔為定高螺紋通孔。

所述樣品臺底托、樣品升降臺、功能支架、連接螺釘、固定支柱、緊固螺釘的材料為以鋁合金為主的金屬導電材料。

一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺進行使用方法，其特征在于：

1）、通過固定支柱將樣品臺底托固定于SEM載物臺上；

2）、對于較小的平塊狀樣品，將樣品升降臺旋入或旋出樣品臺底托的底托螺紋通孔，使用導電膠將高度不同的復數樣品分別粘牢于樣品升降臺上，在樣品臺底托上調整固定樣品升降臺高度，使復數樣品待觀察的上端面齊平。