[發明專利]一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺

有效

• 申請號: 202011313832.0
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112454291B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 袁莉民;叢天孺
• 申請（專利權）人: 揚州大學
• 主分類號: B25H1/06
• 分類號: B25H1/06;B25H1/10;B25H1/16;B25H1/12
• 代理公司: 揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

1.一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：包括樣品臺底托（1）、樣品升降臺（2）；

所述樣品臺底托（1）上設有底托螺紋通孔，樣品升降臺（2）的外側設有與底托螺紋通孔相匹配的外螺紋，樣品升降臺（2）通過外螺紋旋于底托螺紋通孔內，樣品臺底托（1）與樣品升降臺（2）螺紋連接；

所述樣品臺底托（1）底部中心位置設有用于與SEM載物臺連接的固定支柱（7），樣品臺底托（1）上部設有可拆卸的功能支架（3）；

所述樣品臺底托（1）上部設有若干個連接螺紋孔（6），功能支架（3）上設有與若干個連接螺紋孔（6）位置對應的若干個連接通孔（5），還設有若干連接螺釘（4），每個連接螺釘（4）旋緊于對應的功能支架（3）上連接通孔（5）、樣品臺底托（1）上連接螺紋孔（6），使功能支架（3）固定于樣品臺底托（1）上；

所述功能支架（3）的側壁設有復數個螺紋通孔（8），每個螺紋通孔（8）上旋有緊固螺釘（9），螺紋通孔（8）為定高螺紋通孔；

使用時，包括以下步驟：

1）、通過固定支柱（7）將樣品臺底托（1）固定于SEM載物臺上；

2）、對于較小的平塊狀樣品，將樣品升降臺（2）旋入或旋出樣品臺底托（1）的底托螺紋通孔，使用導電膠將高度不同的復數樣品分別粘牢于樣品升降臺（2）上，在樣品臺底托（1）上調整樣品升降臺（2）高度，使復數樣品待觀察的上端面齊平；

3）、對于較大的板狀、片狀樣品，將樣品升降臺（2）旋入樣品臺底托（1）的底托螺紋通孔，直至樣品升降臺（2）調整至與樣品臺底托（1）上端面齊平，直接使用導電膠將樣品粘牢于樣品臺底托（1）上；

4）、對于較大的塊狀樣品，將樣品升降臺（2）旋入樣品臺底托（1）的底托螺紋通孔，直至樣品升降臺（2）調整至與樣品臺底托（1）上端面齊平，將功能支架（3）使用連接螺釘（4）通過連接通孔（5）、連接螺紋孔（6）固定于樣品臺底托（1）；使用導電膠將樣品粘牢于樣品臺底托（1）上并使緊固螺釘（9）旋于螺紋通孔（8）并擠壓樣品，通過螺紋通孔（8）使用緊固螺釘（9）固定樣品。

2.根據權利要求1所述的一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：所述樣品臺底托（1）上均勻設有4個底托螺紋通孔，每個底托螺紋通孔內均旋有1個樣品升降臺（2）。

3.根據權利要求1所述的一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：所述連接螺紋孔（6）的數量為4個，4個連接螺紋孔（6）均勻設置于樣品臺底托（1）上部外緣。

4.根據權利要求1所述的一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：所述樣品臺底托（1）、樣品升降臺（2）、功能支架（3）、連接螺釘（4）、固定支柱（7）、緊固螺釘（9）的材料為以鋁合金為主的金屬導電材料。

5.根據權利要求1所述的一種新型多功能復合可變掃描電鏡SEM樣品載物臺，其特征在于：步驟1）中，SEM載物臺上設有固定孔，固定支柱（7）插于并固定在 SEM載物臺上的固定孔內；

固定孔的側壁還設有擠壓螺紋孔，擠壓螺紋孔內旋有擠壓螺絲，擠壓螺絲旋于擠壓螺紋孔并延伸于固定孔內擠壓固定支柱（7），使得固定支柱（7）固定在 SEM載物臺上的固定孔內。