[發明專利]一種數據處理系統及方法

有效

• 申請號: 202011310254.5
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN112415862B
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 張雷
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/36
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 楊麗爽

1.一種數據處理系統，其特征在于，用于處理第一光學鄰近效應校正任務，所述第一光學鄰近效應校正任務包括：第一子任務和第二子任務，所述系統包括：第一處理單元和第二處理單元；

所述第一處理單元用于處理所述第一子任務，所述第二處理單元用于處理所述第二子任務；

所述第一處理單元還用于：在接收到第二光學鄰近效應校正任務且所述第二光學鄰近效應校正任務的優先級大于所述第一光學鄰近效應校正任務的優先級時，停止處理所述第一子任務，而處理所述第二光學鄰近效應校正任務；

所述第二處理單元還用于：在所述第一處理單元停止處理所述第一子任務時，處理所述第二子任務和所述第一子任務未經處理的部分。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一處理單元，還用于：在完成所述第二光學鄰近效應校正任務時，若所述第二處理單元未完成所述第一光學鄰近效應校正任務，則協同所述第二處理單元處理所述第一光學鄰近效應校正任務未經處理的部分。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，還包括：控制器，

所述控制器用于，在所述第一處理單元完成所述第二光學鄰近效應校正任務時，將所述第一光學鄰近效應校正任務未經處理的部分分為第三子任務和第四子任務，以使所述第一處理單元處理所述第三子任務，所述第二處理單元處理所述第四子任務。

4.根據權利要求3所述的系統，其特征在于，所述第一處理單元的數量是預先設定的或者是由所述控制器根據所述第二光學鄰近效應校正任務確定的。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的系統，其特征在于，所述第一處理單元和所述第二處理單元的總數量根據所述第一光學鄰近效應校正任務中光刻圖形的特征尺寸和圖案密度確定。

6.根據權利要求1-4任意一項所述的系統，其特征在于，所述第一處理單元和所述第二處理單元還用于：在所述第一光學鄰近效應校正任務的處理結果的檢驗結果為失敗時，協同進行所述第一光學鄰近效應校正任務的再處理。

7.一種數據處理方法，其特征在于，應用于第一處理單元，包括：

所述第一處理單元用于在處理第一光學鄰近效應校正任務中的第一子任務時，若接收到第二光學鄰近效應校正任務且所述第二光學鄰近效應校正任務的優先級大于所述第一光學鄰近效應校正任務的優先級，停止處理所述第一子任務，而處理所述第二光學鄰近效應校正任務，以便第二處理單元在所述第一處理單元停止處理所述第一子任務時，處理所述第一光學鄰近效應校正任務的第二子任務和所述第一子任務未經處理的部分。

8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，還包括：

所述第一處理單元在完成所述第二光學鄰近效應校正任務時，若所述第二處理單元未完成所述第一光學鄰近效應校正任務，則所述第一處理單元協同所述第二處理單元處理所述第一光學鄰近效應校正任務未經處理的部分。

9.一種數據處理方法，其特征在于，應用于第二處理單元，包括：

所述第二處理單元用于，在第一處理單元接收到第二光學鄰近效應校正任務且所述第二光學鄰近效應校正任務的優先級大于第一光學鄰近效應校正任務的優先級，停止處理第一子任務，而處理所述第二光學鄰近效應校正任務時，處理所述第一子任務未經處理的部分和所述第一光學鄰近效應校正任務中的第二子任務。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，還包括：

在所述第一處理單元完成所述第二光學鄰近效應校正任務時，若所述第二處理單元未完成所述第一光學鄰近效應校正任務，所述第二處理單元協同所述第一處理單元處理所述第一光學鄰近效應校正任務未經處理的部分。