[發(fā)明專利]一種發(fā)散法紫外光高速固化樹枝狀樹脂及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011303216.7
• 申請(qǐng)日: 2020-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN114518689A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 艾書倫;田坤;艾照全
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢強(qiáng)力荷新材料有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;C08G83/00;C09D11/101;C09D187/00;C09J187/00
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1.一種紫外光高速固化樹枝狀光刻膠及其制備方法，其特征在于：在裝有攪拌器、溫度計(jì)、回流和蒸餾冷凝器、加料裝置、在線粘度測試裝置、加熱裝置和控溫裝置的反應(yīng)器中，加入乙醇，開動(dòng)攪拌，加入乙氧化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯或季戊四醇四甲基丙烯酸酯，加入三乙烯四胺或多乙烯多胺，攪拌均勻后，在N₂保護(hù)下加熱至30-50℃，反應(yīng)16- 24h時(shí)間，當(dāng)反應(yīng)裝置中物料的粘度達(dá)到穩(wěn)定時(shí)，降溫到25~30℃，同時(shí)減壓蒸餾出乙醇，制得微黃色透明液體樹脂，在避光條件下，加入樹脂總量1-7%的在193~248nm有較強(qiáng)紫外光吸收的光引發(fā)劑例如2-羥基-2甲基-1-苯基-1-丙酮（D-1173）、二苯基甲酮、安息香乙醚，攪拌均勻，制得在193~248nm紫外光照射下高速固化樹枝狀光刻膠，用于大規(guī)模集成電路芯片制造的關(guān)鍵原材料、紫外光固化3D打印材料、涂料和上光油。

2.根據(jù)權(quán)利要求1，其特征在于，乙醇的加入量為聚合反應(yīng)器中總物料的3~10%，原料中多元脂肪胺分子中活性H原子的數(shù)量，加上多甲基丙烯酸酯分子中甲基丙烯酸的數(shù)量之和數(shù)字n越大，則乙醇的加入量就要越多，三乙烯四胺分子中含有6個(gè)活性H, 乙氧化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯分子中含有3個(gè)活性甲基丙烯酸酯，二者總活性基團(tuán)數(shù) n=6+3=10時(shí)，乙醇的加入量控制在聚合反應(yīng)器中總物料的3~5%；多乙烯多胺分子中含有8個(gè)活性H,與季戊四醇四甲基丙烯酸酯分子中含有4個(gè)活性甲基丙烯酸酯基，n=8+4=12，乙醇的加入量控制在聚合反應(yīng)器中總物料的6~10%，余此類推。

3.根據(jù)權(quán)利要求1，其特征在于，原料的配比按三乙烯四胺與季戊四醇四甲基丙烯酸酯的mol比為0.98:6；多乙烯多胺與甲乙氧化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯的mol比在0.99:8。