[發明專利]一種發散法紫外光高速固化樹枝狀樹脂及其制造方法

在審

• 申請號: 202011303216.7
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN114518689A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 艾書倫;田坤;艾照全
• 申請（專利權）人: 武漢強力荷新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;C08G83/00;C09D11/101;C09D187/00;C09J187/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

以乙醇為溶劑，乙氧化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯或季戊四醇四甲基丙烯酸酯分別與三乙烯四胺或多乙烯多胺反應，在避光條件下，加入光引發劑2?羥基?2甲基?1?苯基?1?丙酮（D?1173）、二苯基甲酮、安息香乙醚，攪拌均勻，制得在193~248nm紫外光照射下高速固化樹枝狀光刻膠，用于大規模集成電路芯片制造的關鍵原材料、紫外光固化3D打印材料、涂料和上光油。

技術領域

本發明涉及集成電路芯片制備中用的關鍵原材料，一種發散法紫外光高速固化樹枝狀樹脂及其制造方法，屬于UV固化光刻膠、UV3D打印、UV涂料、UV油墨和UV上光油等技術領域。

背景技術

近年來，隨著世界各國對綠色環保的提倡和呼吁，傳統的熱固化樹脂因其污染大、固化速度慢、生產效率低，逐漸被淘汰，光敏樹脂作為表面處理的綠色先進材料和功能型樹脂的主要代表，不僅環保，而且便于基礎研究和大規模工業化，受到眾多研究者的青睞，這對拓展聚合物樹脂的應用領域具有重要的理論和實用意義。

自1984年美國的Tomalia在第一屆國際高分子會議中首次提出了樹枝狀聚合物的概念后，其許多獨特的性質便引起相關領域的高度關注，至今，這類化合物正處在蓬勃發展的趨勢，已研究、合成出來的樹枝狀大分子層出不窮。樹枝狀大分子是一類通過多官能團單體逐步重復反應得到的具有高度支化、結構高度對稱的大分子，由決定分子主鏈數、分子尺寸及特殊結構的內部核心、影響連接支化重復單元、分支數的內部支化官能團、決定整個分子功能特性的易改性的表面基團組成。樹狀大分子的這種各部分獨立的特殊結構，對設計、合成具有多重功能和多樣化結構的樹枝聚合物起著重要影響作用。與傳統的線性聚合物相比，樹枝狀分子總的來說有以下幾個重要的結構的特征：

內部結構規整，分子的形狀、體積及功能基團精確可控，相對分子質量分散系數近似為1，分子量分布呈單分散性；支化重復單元在分子外層聚集，大量的末端官能團不僅對分子內層起著有效的保護，而且根據末端基團性質的不同，可以接枝不同的化學物質，使整個分子具有多功能特性；同核心的支化官能團每繁衍一代，便存在一定的層狀結構，隨著繁衍代數的不同，整個樹枝狀分子結構外緊內松，并且層狀結構之間在空腔，空腔的存在對選擇客體或分子催化劑的研究起著靶向作用。可在特定位置引入不同的官能團進行改性，滿足其在不同材料領域中的應用。樹枝狀分子具有高度支化的拓撲形態，分子尺寸很小，一般在幾納米至幾十納米之間，可用作納米材料。樹枝狀大分子正是由于這種特殊的結構進而賦予其優越性能，如良好的流體力學性能、獨特的黏度行為、容易成膜、功能多樣化、不易結晶，因而在工業、農業、醫學、環境、材料保護等眾多的領域具有廣闊的應用前景。

Huang H 等合成的星形化合物作為新型的齊聚物用于涂料體系，它的光固化速度可以達到傳統的光固化齊聚物的 5～6倍[Huang H, . Photopolym erizablepolyfunctional methacrylated polyesters[J]. J Photopolym Sci Technol, 1997,2:341-346]。Komber H等用1,3,5 -苯三酸和對苯二胺為原料，三苯氧基膦和吡啶作為縮聚劑，在80℃的條件下，反應90min，制成分子量為42000的樹狀聚合物[Komber H , Voit B ,et al.1H and 13C NMR Spectra of a Hyperbranched Aromatic Polyamide from p-Phenylenediamine and Trimesic Acid[J].Macromolecules,2001, 34(16):5487～5493]。然而上述樹枝狀樹脂的制備方法在工業生產上都顯得太過復雜，難以大規模生產。