[發明專利]套件、及使用該套件的第三層疊體的制造方法

在審

• 申請號: 202011302234.3
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN112825305A
• 公開（公告）日: 2021-05-21
• 發明（設計）人: 山本大輔;古野健太
• 申請（專利權）人: 琳得科株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B32B7/06;B32B7/12;B32B27/06;B32B33/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;敖蓮

1.一種套件，其具備第一層疊體和支撐片，所述第一層疊體中依次層疊有第一剝離膜、保護膜形成膜及第二剝離膜，所述支撐片用于支撐作為所述保護膜形成膜的保護對象的工件和所述保護膜形成膜，其中，

所述保護膜形成膜在23℃下的斷裂伸長率大于700％。

2.根據權利要求1所述的套件，其中，所述第一層疊體為卷狀。

3.根據權利要求1或2所述的套件，其中，所述保護膜形成膜為熱固性或能量射線固化性。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的套件，其中，所述支撐片的貼附在所述保護膜形成膜上的粘著劑層層疊在基材上。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的套件，其中，所述保護膜形成膜與所述第二剝離膜之間的剝離力比所述保護膜形成膜與所述第一剝離膜之間的剝離力大，

以1m/分鐘的剝離速度、于23℃的溫度下測定的所述保護膜形成膜與所述第二剝離膜之間的180°剝下剝離力為250mN/100mm以下。

6.一種第三層疊體的制造方法，其將權利要求1～5中任一項所述的套件用于在線工藝，且所述第三層疊體中依次層疊有工件、所述保護膜形成膜及所述支撐片，所述制造方法依次包括：

將所述第一層疊體的第一剝離膜剝離的工序；

在所述工件上貼附所述保護膜形成膜的露出面的第一層疊工序；及

在所述保護膜形成膜的與所述露出面相反的面上貼附所述支撐片的第二層疊工序，

從開始進行所述第一層疊工序的貼附的地點至完成所述第二層疊工序的貼附的地點之間的所述工件的搬送距離為7000mm以下。

7.一種第三層疊體的制造方法，其將權利要求1～5中任一項所述的套件用于在線工藝，且所述第三層疊體中依次層疊有工件、所述保護膜形成膜及所述支撐片，所述制造方法依次包括：

將所述第一層疊體的第一剝離膜剝離的工序；

在所述工件上貼附所述保護膜形成膜的露出面的第一層疊工序；及

在所述保護膜形成膜的與所述露出面相反的面上貼附所述支撐片的第二層疊工序，

從開始進行所述第一層疊工序的貼附時至完成所述第二層疊工序的貼附時之間的所述工件的搬送時間為400s以下。

8.一種第三層疊體的制造方法，其將權利要求1～5中任一項所述的套件用于在線工藝，且所述第三層疊體中依次層疊有工件、所述保護膜形成膜及所述支撐片，所述制造方法依次包括：

將所述第一層疊體的第一剝離膜剝離的工序；

在所述工件上貼附所述保護膜形成膜的露出面的第一層疊工序；及

在所述保護膜形成膜的與所述露出面相反的面上貼附所述支撐片的第二層疊工序，

從所述第一層疊工序至所述第二層疊工序之間，將在所述工件上貼附有所述保護膜形成膜的第二層疊體一片一片地進行搬送。

9.根據權利要求6～8中任一項所述的第三層疊體的制造方法，其中，所述第一層疊工序在80℃以上的晶圓工作臺上進行。

10.根據權利要求6～9中任一項所述的第三層疊體的制造方法，其中，在所述工件的與貼附所述保護膜形成膜的露出面的一側為相反側的面上貼附有背磨膠帶，在所述第二層疊工序之后包括從所述工件上剝離所述背磨膠帶的工序。

11.根據權利要求10所述的第三層疊體的制造方法，其中，在開始進行所述第一層疊工序的貼附不到10分鐘之內，開始從所述工件上剝離所述背磨膠帶。