[發明專利]一種研磨結構和研磨裝置在審
| 申請號： | 202011300630.2 | 申請日： | 2020-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN112536711A | 公開（公告）日： | 2021-03-23 |
| 發明（設計）人： | 陳光林 | 申請（專利權）人： | 西安奕斯偉硅片技術有限公司;西安奕斯偉材料技術有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/10 | 分類號： | B24B37/10;B24B37/16;B24B45/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李紅標 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 研磨 結構 裝置 | ||
1.一種研磨結構，其特征在于，包括：
基座；
研磨盤，所述研磨盤上設有溝槽，所述研磨盤可拆卸地設在所述基座上。
2.根據權利要求1所述的研磨結構，其特征在于，所述研磨盤包括：
連接板和研磨體，所述連接板與所述基座可拆卸地連接，相鄰的兩個所述研磨體之間間隔開限定出所述溝槽。
3.根據權利要求2所述的研磨結構，其特征在于，所述研磨體可拆卸地設在所述連接板上。
4.根據權利要求2所述的研磨結構，其特征在于，相鄰兩個所述研磨體之間的間距可調節。
5.根據權利要求2所述的研磨結構，其特征在于，還包括：
雙頭螺栓，相鄰兩個所述研磨體之間通過所述雙頭螺栓連接。
6.根據權利要求2所述的研磨結構，其特征在于，所述連接板為環形，所述連接板的內側邊緣設有第一螺栓，所述第一螺栓連接所述連接板與所述基座，所述連接板的外側邊緣設有第二螺栓，所述第二螺栓連接所述連接板與所述基座。
7.根據權利要求1所述的研磨結構，其特征在于，所述基座上設有沿所述基座的厚度方向貫穿的通孔，所述通孔與所述溝槽連通。
8.一種研磨裝置，其特征在于，包括如權利要求1-7中任一項所述的研磨結構。
9.根據權利要求8所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置包括：
機體；
驅動結構，所述驅動結構設在所述機體上，所述驅動結構與所述研磨結構的所述基座相連；
漿料供應結構，所述漿料供應結構與所述溝槽連通。
10.根據權利要求9所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨結構具有兩個，兩個所述研磨結構在所述研磨盤的軸向方向上間隔開，且兩個所述研磨結構中的所述研磨盤相對設置。
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