[發明專利]一種新型連續鍍膜線真空冷阱的布置方式和工作方法

在審

• 申請號: 202011299797.1
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112481599A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 彭壽;張康;張超群;王貝;葛治亮;井治;陶飛
• 申請（專利權）人: 中國建材國際工程集團有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 郎祺

1.一種新型連續鍍膜線真空冷阱的布置方式，其特征在于，將冷阱系統安裝于鍍膜工藝室外(8)的外側，且通過管路與所述鍍膜工藝室(8)連通；

所述冷阱系統包括冷阱(3)和與所述冷阱(3)連接的冷阱盤管(10)；將所述冷阱盤管(10)通過加熱固定裝置(21)固定于冷阱盤管腔室(2)內；在所述冷阱盤管腔室(2)上設置一復合真空規(9)，用以檢測所述冷阱盤管腔室(2)的真空度；

所述冷阱盤管腔室(2)的一端連接于所述鍍膜工藝室(8)，另一端連接于一前級泵抽系統(1)；

在所述冷阱盤管腔室(2)與所述前級泵抽系統(1)連接的管道上、所述冷阱盤管腔室(2)與所述鍍膜工藝室(8)連接的管道上分別設置第一閥門(4)和第二閥門(6)；

在所述冷阱盤管腔室(2)與外界大氣連接的管道上設置第三閥門(5)。

2.根據權利要求1所述的布置方式，其特征在于，在所述冷阱盤管腔室(2)的內壁上均勻的設置保溫層(22)。

3.根據權利要求2所述的布置方式，其特征在于，所述保溫層(22)的材料為聚四氟乙烯。

4.根據權利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述前級泵抽系統(1)包括逐級連接的螺桿泵(11)、第四閥門(13)、羅茨泵(12)和第五閥門(14)。

5.根據權利要求4所述的布置方式，其特征在于，所述第一閥門(4)、第二閥門(6)、第三閥門(5)、第四閥門(13)和第五閥門(14)選自角閥和蝶閥中的一種。

6.根據權利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盤管腔室(2)截面的寬為400～1200mm，高度為300～1000mm；所述冷阱盤管腔室(2)的長度為1500～5000mm。

7.根據權利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盤管(10)為銅管，直徑為8～16mm。

8.根據權利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述鍍膜工藝室(8)上設置有至少一個氣體隔離室(7)。

9.一種新型連續鍍膜線，其特征在于，所述真空鍍膜線采用如權利要求1～8任一項所述的布置方式。

10.一種如權利要求9所述的新型連續鍍膜線的工作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一，打開所述第一閥門(4)，使用所述前級泵抽系統(1)對冷阱盤管腔室(2)進行預抽氣；

步驟二，當所述冷阱盤管腔室(2)內部真空度到達5Pa時，打開第二閥門(6)，使所述冷阱盤管腔室(2)與所述鍍膜工藝室(8)連通，使用所述鍍膜工藝室(8)內的抽真空系統對所述冷阱盤管腔(2)室進行高真空抽氣，使冷阱盤管腔室(2)獲得真空；

步驟三，開啟冷阱(3)對冷阱盤管(10)進行制冷，所述冷阱盤管腔室(2)內的冷阱盤管(10)進行高效吸附水汽，對鍍膜工藝室(8)進行快速降低本底真空；

步驟四，當所述冷阱盤管(10)上吸附水汽較多結霜較多時，關閉所述第一閥門(4)和所述第二閥門(6)，打開第三閥門(5)，對所述冷阱盤管腔室(2)進行破空，將冷阱(3)調整到加熱工作模式，并打開所述加熱固定裝置(21)對所述冷阱盤管(10)高溫除霜。