[發明專利]導軌式去膠機

在審

• 申請號: 202011298875.6
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN112435947A
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 汪竹;陳酉冰;魏益波;錢燕娟
• 申請（專利權）人: 江蘇雷博科學儀器有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 江陰市權益專利代理事務所(普通合伙) 32443
• 代理人: 陳強

1.一種導軌式去膠機，其特征在于：包含有安裝于機臺（101）一側的片盒單元（102）和去膠單元（103），兩個片盒單元（102）分別位于去膠單元（103）的兩側，機臺（101）另一側的滑軌（104）上滑動設置有滑動模組（105），滑動模組（105）上安裝吸附機構（106）。

2.如權利要求1所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述片盒單元（102）包含有安裝于升降模組（2.2）上的升降臺板（2.1），所述升降臺板（2.1）上堆疊有盒體（2.3）。

3.如權利要求1所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述去膠單元（103）包含有安裝于機臺（101）上的固定板（3.1），所述固定板（3.1）上安裝有方腔（3.2），所述方腔（3.2）內設置有頂升腔（3.3），所述頂升腔（3.3）內的載物盤上設置有晶圓環（3.4），旋轉主軸（3.5）插入方腔（3.2）內的一端穿過頂升腔（3.3）后驅動載物盤上的晶圓環（3.4）旋轉，腔體頂伸桿（3.6）的頂部穿入方腔（3.2）內的一端與頂升腔（3.3）的頂部外壁相連，晶圓環頂升桿（3.7）的頂部穿入方腔（3.2）內的一端、穿過頂升腔（3.3）后與晶圓環（3.4）的底面相連接；且晶圓環頂升桿（3.7）的底部安裝于頂升座（3.8）上。

4.如權利要求3所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述方腔（3.2）內設置有擺臂（3.9）。

5.如權利要求3所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述腔體頂伸桿（3.6）和晶圓環頂升桿（3.7）位于方腔（3.2）內的部分均套裝有擋液件（3.10）。

6.如權利要求3所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述晶圓環頂升桿（3.7）上套裝有密封導向件（3.11），該密封導向件（3.11）嵌置于頂升腔（3.3）上。

7.如權利要求3所述一種導軌式去膠機，其特征在于：所述晶圓環（3.4）的上表面的外沿凸起設置有限位擋塊（3.4.1）。