[發明專利]一種用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法

在審

• 申請號: 202011296200.8
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112371530A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 林鏘
• 申請（專利權）人: 深圳市德斯戈智能科技有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/342;B07C5/36
• 代理公司: 深圳眾邦專利代理有限公司 44545
• 代理人: 郭曉宇

1.一種用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法，其特征在于：所述方法通過AOI檢測設備來實現；

所述AOI檢測設備包括機架、步進頂料模組、傳送進出料模組、傳送排料模組和三軸自動對焦模組，所述步進頂料模組、傳送進出料模組、傳送排料模組和三軸自動對焦模組分別安裝在所述機架上，所述步進頂料模組用來將物料頂起到固定位置進行檢測；所述傳送進出料模組用于傳送物料，并在檢測物料之后，將物料傳送到下一個工位；所述傳送排料模組則用來存放NG物料以及OK物料，并將NG物料傳送離開，NG物料為不合格物料，OK物料為合格物料；所述三軸自動對焦模組用于視覺檢測，通過X軸移動模組、Y軸移動模組和Z軸移動模組帶動視覺檢測模塊做空間移動，實現多工位的操作；

所述方法包括以下工序：

工序一、物料都存放在料盤上，料盤放置在滾輪上從傳送進出料模組的一邊進入，在傳送進出料模組上左右移動，傳送到下檢測工位；

工序二、料盤在傳送進出料模組上運動到下檢測工位時，停止前進，底部的步進頂料模組動作，將料盤向上頂升到上檢測工位，此時，料盤脫離傳送進出料模組，步進頂料模組停止，傳送進出料模組上的左右兩個夾料盤夾子動作，將料盤夾住固定，此時，步進頂料模組復位；

工序三、三軸自動對焦模組啟動，通過X軸移動模組和Y軸移動模組的控制移動到料盤上方，視覺檢測模塊則進行檢測，此時Z軸移動模組調整視覺檢測模塊的高度，通過位移傳感器的控制，確定物料的檢測位置，實時確定焦距，進行拍照，即自動實時對焦，所述視覺檢測模塊在完成檢測之后，判斷物料為NG物料或者OK物料；

工序四、進行物料的自動分揀，如果是NG物料，則通過傳送排料模組排出，如果是OK物料則通過傳送進出料模組傳送到下一工位或者暫存到傳送排料模組。

2.根據權利要求1所述的用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法，其特征在于：每個料盤上至少放置兩個物料，工序四中物料的自動分揀包括以下過程：

1)、首個檢測料盤的分揀，將NG物料存放到傳送排料模組的NG盤，將OK物料存放到傳送排料模組的OK補料盤；

2)、其余檢測料盤的分揀，將NG物料存放到傳送排料模組的NG盤，并從傳送排料模組的OK補料盤抓取OK物料存放回檢測料盤，直至檢測料盤上放滿OK物料，則通過傳送進出料模組傳送到下一工位；

3)、反復執行步驟2)直到傳送排料模組的NG盤放滿，此時，將放滿NG物料的NG盤通過傳送排料模組排出，并返回步驟1)。

3.根據權利要求2所述的用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法，其特征在于：所述傳送排料模組具有前后設置的前工位和后工位，前工位用來存放OK補料盤，后工位用來存放NG盤。

4.根據權利要求3所述的用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法，其特征在于：在步驟3)中，當NG盤放滿時，則OK補料盤被清空，此時，先將放滿NG物料的NG盤通過傳送排料模組排出，再將空的OK補料盤移動到后工位，形成新的NG盤，然后繼續對檢測料盤進行檢測，將剩余NG物料存放到NG盤，此時檢測料盤只剩OK物料，再將檢測料盤轉移到OK補料盤的位置，形成新的OK補料盤，再返回步驟1。

5.根據權利要求1所述的用載具輸送的MEMS器件AOI檢測方法，其特征在于：所述傳送進出料模組包括導軌、滾輪、滾輪驅動裝置和料盤，所述滾輪安裝所述導軌的側面，所述滾輪驅動裝置與所述滾輪連接，所述料盤架設在所述滾輪上，所述導軌上下貫穿形成導軌槽，所述滾輪對稱設置在所述導軌槽的兩側，所述步進頂料模組位于所述導軌槽的下方，所述三軸自動對焦模組位于所述導軌槽的上方，所述步進頂料模組用于穿過所述導軌槽將所述料盤頂升，所述三軸自動對焦模組用于檢測被頂升的檢測對象，并判定檢測對象是否合格，所述傳送排料模組與所述傳送進出料模組的結構相同，但安裝位置不相同，所述傳送進出料模組用于將檢測對象從上一工位傳送至所述三軸自動對焦模組的檢測工位，并且，用于將合格的檢測對象從所述三軸自動對焦模組的檢測工位傳送至下一工位，所述傳送排料模組用于將不合格的檢測對象從所述三軸自動對焦模組的檢測工位傳送至不合格區域。