[發明專利]射頻裝置及半導體設備

在審

• 申請號: 202011294633.X
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112397362A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 劉春明
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/32;H01L21/67;H01L21/3065
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種射頻裝置，應用于半導體設備，其特征在于，所述射頻裝置包括：

射頻線圈(100)，所述射頻線圈(100)包括柔性連接件(130)和多個子線圈段(110)，所述柔性連接件(130)為導電材質，相鄰的所述子線圈段(110)通過所述柔性連接件(130)連接成所述射頻線圈(100)，所述射頻線圈(100)用于與射頻電源(410)電性連接；

驅動件，多個所述子線圈段(110)中的至少一者與所述驅動件連接，所述驅動件用于驅動對應連接的所述子線圈段(110)升降。

2.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，所述驅動件的數量為多個，多個所述驅動件一一對應地與多個所述子線圈段(110)連接。

3.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，同一所述射頻線圈(100)中的多個所述子線圈段(110)的結構相同。

4.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，所述柔性連接件(130)為鍍銀銅帶結構件；所述柔性連接件(130)的寬度與所述子線圈段(110)的寬度相等。

5.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，所述柔性連接件(130)的長度不小于相鄰的所述子線圈段(110)的間距，所述柔性連接件(130)的中部彎曲成幾字形。

6.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，多個所述子線圈段(110)通過所述柔性連接件(130)連接，組成多個直徑不同的所述射頻線圈(100)，多個直徑不同的所述射頻線圈(100)同心設置，每一所述射頻線圈(100)中的至少一個所述子線圈段(110)與所述驅動件連接。

7.根據權利要求1所述的射頻裝置，其特征在于，所述射頻線圈(100)通過連接條(440)與所述射頻電源(410)電性連接。

8.根據權利要求7所述的射頻裝置，其特征在于，所述射頻裝置還包括線圈盒(430)和金屬屏蔽板(450)，所述金屬屏蔽板(450)橫向設置于所述線圈盒(430)內，并將所述線圈盒(430)的內部分為上腔和下腔；

所述射頻線圈(100)位于所述下腔；

所述連接條(440)包括水平段和兩個豎直段，兩個所述豎直段連接于所述水平段的相背兩端，所述水平段位于所述上腔內，并用于與所述射頻電源(410)電性連接，兩個所述豎直段均穿設于所述金屬屏蔽板(450)，兩個所述豎直段分別連接所述子線圈段(110)，用于饋入和饋出射頻。

9.根據權利要求8所述的射頻裝置，其特征在于，所述驅動件包括驅動主體(310)和與所述驅動主體(310)相連接的連接桿(320)，所述驅動主體(310)設置于所述上腔內，并設置于所述金屬屏蔽板(450)上，所述連接桿(320)穿設于所述金屬屏蔽板(450)上；所述驅動主體(310)通過所述連接桿(320)與所述子線圈段(110)連接。

10.根據權利要求9所述的射頻裝置，其特征在于，所述驅動件為絲杠升降結構，且所述連接桿(320)的直徑小于所述子線圈段(110)的寬度；所述連接桿(320)為陶瓷結構件。

11.一種半導體設備，包括射頻電源(410)、匹配器(420)、介質窗(510)和反應腔室(520)，所述射頻電源(410)與所述匹配器(420)電連接，所述反應腔室(520)和所述介質窗(510)連接，其特征在于，所述半導體設備還包括：

如權利要求1-10任意一項所述的射頻裝置，所述射頻裝置安裝于所述介質窗(510)背離所述反應腔室(520)的一側，所述射頻裝置通過所述匹配器(420)與所述射頻電源(410)電連接。