[發明專利]一種顯影液的溫控裝置及其溫控方法

在審

• 申請號: 202011294280.3
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112241112A
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 蔣磊;許愿
• 申請（專利權）人: 江蘇晉譽達半導體股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G05D23/20
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

本發明公開了一種顯影液的溫控裝置及溫控方法，該裝置包括顯影液供應管、第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，換熱套管套裝在顯影液供應管外部，顯影液供應管依次貫穿第一換熱三通接頭和第二換熱三通接頭上，換熱套管一端密封插裝固定于第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二連接管口，換熱介質注入管口上密封插裝有換熱介質供應管，換熱介質流出管口密封插裝有換熱介質流出管，換熱介質供應管和換熱介質流出管分別連接對換熱介質進行調溫的調溫換熱裝置。該溫控裝置和方法可以更加準確的調節顯影液的溫度。

技術領域

本發明涉及一種顯影液的溫控裝置，同時還涉及使用該溫控裝置的溫控方法。

背景技術

在半導體芯片的生產過程中，需要使用顯影液和光刻膠，而對顯影液和光刻膠的溫度有著非常嚴苛的要求，一般都是需要在23±0.1攝氏度；而目前的顯影液的溫控裝置是在顯影液供應管的前端直接設置了電加熱裝置，利用電加熱裝置對顯影液供應管中的顯影液進行加熱，然后在利用顯影液供應管外部的降溫裝置對顯影液進行冷卻，這種結構導致溫度的調控靈敏度比較低，并且溫度的調控也可能不準確，容易出現偏差，尤其是顯影液的流速出現波動時，其溫度調控的準確度就更低。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種顯影液的溫控裝置，該溫控裝置可以更加準確的調節顯影液的溫度。

本發明所要解決的另一個技術問題是：提供一種顯影液的溫控方法，該溫控方法使用了上述的顯影液，使溫度的調控更準確，溫度調節的靈敏度更高。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是：一種顯影液的溫控裝置，包括顯影液供應管，所述溫控裝置還包括第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，所述第一換熱三通接頭上設置有相互連通的第一貫穿管口、第一連接管口和換熱介質注入管口，所述第二換熱三通接頭上設置有相互連通的第二貫穿管口、第二連接管口和換熱介質流出管口，所述換熱套管套裝在顯影液供應管的外部一段，所述顯影液供應管依次貫穿第一換熱三通接頭的第一貫穿管口和第一連接管口、第二換熱三通接頭上的第二連接管口和第二貫穿管口，所述顯影液供應管與第一貫穿管口和第二貫穿管口之間密封配合；所述換熱套管一端密封插裝固定于第一換熱三通接頭的第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二換熱三通接頭的第二連接管口，所述換熱介質注入管口上密封插裝有換熱介質供應管，所述換熱介質流出管口密封插裝有換熱介質流出管，所述換熱介質供應管和換熱介質流出管分別連接對換熱介質進行調溫的調溫換熱裝置。

作為一種優選的方案，所述第一貫穿管口的直徑大于顯影液供應管，所述第一貫穿管口上設置有臺階孔，臺階孔的底部安裝有密封圈，所述臺階孔內螺紋安裝有中空的壓緊螺柱。

作為一種優選的方案，所述換熱介質注入管口和換熱介質流出管口的結構相同，所述換熱介質注入管口上設置有連接螺口，所述連接螺口螺紋連接接插頭的一端，所述接插頭的另一端設置有階梯孔且設置了外螺紋段，所述換熱介質供應管的端部活動安裝有第一壓緊螺套，所述換熱介質供應管插入所述階梯孔內且所述第一壓緊螺套與外螺紋段螺紋連接。

作為一種優選的方案，所述第一連接管口和第二連接管口的結構相同，所述第一連接管口上螺紋安裝有連接管接頭，所述連接管接頭內部設置有貫通孔且另一端設置有安裝臺階孔，所述換熱套管的兩端分別活接有第二壓緊螺套，所述換熱套管插入所述安裝臺階孔內且通過第二壓緊螺套螺紋連接。

作為一種優選的方案，所述第一連接管口上的接插頭上的階梯孔的內沿設置成傾斜的內倒角，所述換熱介質供應管的端部設置有圓錐凸環，所述圓錐凸環的小徑端朝向接插頭且插入所述階梯孔內與內倒角密封配合，所述第一壓緊螺套與圓錐凸環的大徑端的底面設置有密封圈。