[發(fā)明專利]一種顯影液的溫控裝置及其溫控方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011294280.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112241112A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣磊;許愿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇晉譽(yù)達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/30
• 分類號(hào): G03F7/30;G05D23/20
• 代理公司: 蘇州金項(xiàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

1.一種顯影液的溫控裝置，包括顯影液供應(yīng)管，其特征在于：所述溫控裝置還包括第一換熱三通接頭、第二換熱三通接頭和換熱套管，所述第一換熱三通接頭上設(shè)置有相互連通的第一貫穿管口、第一連接管口和換熱介質(zhì)注入管口，所述第二換熱三通接頭上設(shè)置有相互連通的第二貫穿管口、第二連接管口和換熱介質(zhì)流出管口，所述換熱套管套裝在顯影液供應(yīng)管的外部一段，所述顯影液供應(yīng)管依次貫穿第一換熱三通接頭的第一貫穿管口和第一連接管口、第二換熱三通接頭上的第二連接管口和第二貫穿管口，所述顯影液供應(yīng)管與第一貫穿管口和第二貫穿管口之間密封配合；所述換熱套管一端密封插裝固定于第一換熱三通接頭的第一連接管口，另一端密封插裝固定于第二換熱三通接頭的第二連接管口，所述換熱介質(zhì)注入管口上密封插裝有換熱介質(zhì)供應(yīng)管，所述換熱介質(zhì)流出管口密封插裝有換熱介質(zhì)流出管，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別連接對(duì)換熱介質(zhì)進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫?fù)Q熱裝置。

2.如權(quán)利要求1所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述第一貫穿管口的直徑大于顯影液供應(yīng)管，所述第一貫穿管口上設(shè)置有臺(tái)階孔，臺(tái)階孔的底部安裝有密封圈，所述臺(tái)階孔內(nèi)螺紋安裝有中空的壓緊螺柱。

3.如權(quán)利要求2所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述換熱介質(zhì)注入管口和換熱介質(zhì)流出管口的結(jié)構(gòu)相同，所述換熱介質(zhì)注入管口上設(shè)置有連接螺口，所述連接螺口螺紋連接接插頭的一端，所述接插頭的另一端設(shè)置有階梯孔且設(shè)置了外螺紋段，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管的端部活動(dòng)安裝有第一壓緊螺套，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管插入所述階梯孔內(nèi)且所述第一壓緊螺套與外螺紋段螺紋連接。

4.如權(quán)利要求3所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述第一連接管口和第二連接管口的結(jié)構(gòu)相同，所述第一連接管口上螺紋安裝有連接管接頭，所述連接管接頭內(nèi)部設(shè)置有貫通孔且另一端設(shè)置有安裝臺(tái)階孔，所述換熱套管的兩端分別活接有第二壓緊螺套，所述換熱套管插入所述安裝臺(tái)階孔內(nèi)且通過(guò)第二壓緊螺套螺紋連接。

5.如權(quán)利要求4所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述第一連接管口上的接插頭上的階梯孔的內(nèi)沿設(shè)置成傾斜的內(nèi)倒角，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管的端部設(shè)置有圓錐凸環(huán)，所述圓錐凸環(huán)的小徑端朝向接插頭且插入所述階梯孔內(nèi)與內(nèi)倒角密封配合，所述第一壓緊螺套與圓錐凸環(huán)的大徑端的底面設(shè)置有密封圈。

6.如權(quán)利要求5所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述調(diào)溫?fù)Q熱裝置包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有第一熱交換模塊和第二熱交換模塊，第一熱交換模塊和第二熱交換模塊之間貼合有珀?duì)柼龅谝粺峤粨Q模塊上設(shè)置介質(zhì)通道且介質(zhì)通道兩端分別設(shè)置介質(zhì)入口和介質(zhì)出口，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管分別與介質(zhì)入口和介質(zhì)出口相連通，所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管或換熱介質(zhì)流出管上設(shè)置輸送泵，所述第二熱交換模塊上設(shè)置有水循環(huán)通道且水循環(huán)通道兩端設(shè)置進(jìn)水口和出水口，進(jìn)水口和出水口分別與循環(huán)水管路相連通，所述箱體內(nèi)設(shè)置有控制所述珀?duì)柼ぷ鞯臏囟瓤刂破鳌?/p>

7.如權(quán)利要求6所述的一種顯影液的溫控裝置，其特征在于：所述換熱介質(zhì)供應(yīng)管和換熱介質(zhì)流出管為一條換熱介質(zhì)管道，所述換熱介質(zhì)管道貫穿所述第一熱交換模塊上介質(zhì)通道。

8.一種顯影液的溫控方法，其特征在于：該溫控方法使用了權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的溫控裝置，包括以下步驟：

S1、將換熱套管的兩端固定在第一換熱三通接頭和和第二換熱三通接頭之間；

S2、將顯影液供應(yīng)管插入順次插入第一換熱三通接頭、換熱套管和第二換熱三通接頭后并密封固定；

S3、根據(jù)顯影液的使用環(huán)境，確定顯影液的使用溫度為23±0.1℃，利用調(diào)溫?fù)Q熱裝置對(duì)換熱介質(zhì)供應(yīng)管中的換熱介質(zhì)調(diào)溫，控制換熱介質(zhì)的溫度為23+0.1℃；

S4、啟動(dòng)顯影液輸出泵，顯影液從顯影液瓶中經(jīng)過(guò)顯影液供應(yīng)管流入半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，顯影液在換熱套管內(nèi)部進(jìn)行連續(xù)熱交換，顯影液在顯影液供應(yīng)管中流出熱交換終止點(diǎn)前顯影液和換熱套管內(nèi)的換熱介質(zhì)溫度相同。

9.如權(quán)利要求8所述的一種顯影液的溫控方法，其特征在于：所述調(diào)溫?fù)Q熱裝置調(diào)控?fù)Q熱介質(zhì)的方法為：利用溫度傳感器檢測(cè)換熱介質(zhì)的溫度，當(dāng)溫度低于23+0.1℃時(shí)，溫度控制器控制珀?duì)柼峁┲绷麟妼?duì)第一熱交換模塊中流過(guò)的換熱介質(zhì)進(jìn)行加熱；而當(dāng)溫度高于23+0.1℃時(shí)，溫度控制器控制珀?duì)柼峁┓聪虻闹绷麟妼?duì)第一熱交換模塊中流過(guò)的換熱介質(zhì)進(jìn)行降溫。