[發明專利]載置臺和檢查裝置

在審

• 申請號: 202011292452.3
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112838041A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 小林大;中山博之;秋山直樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種載置臺，其載置具有電子器件的被檢查體，以對該電子器件施加載荷的方式按壓檢查裝置的探針卡的接觸端子，其中，

該載置臺包括：

第1冷卻板，其形成有第1制冷劑流路；

加熱源，其搭載于所述第1冷卻板，該加熱源具有多個發光元件，用于加熱所述被檢查體；

透過構件，其設于所述加熱源之上，使所述加熱源所輸出的光透過；

第2冷卻板，其設于所述透過構件之上，保持所述被檢查體，并形成有第2制冷劑流路；以及

透明樹脂層，其以覆蓋所述加熱源的方式填充在所述第1冷卻板和所述透過構件之間。

2.根據權利要求1所述的載置臺，其中，

該載置臺還包括反射部，該反射部設于所述透過構件的側部，用于向所述透過構件的內部反射所述加熱源所輸出的光。

3.一種載置臺，其載置具有電子器件的被檢查體，以對該電子器件施加載荷的方式按壓檢查裝置的探針卡的接觸端子，其中，

該載置臺包括：

第1冷卻板，其形成有第1制冷劑流路；

加熱源，其搭載于所述第1冷卻板，該加熱源具有多個發光元件，用于加熱所述被檢查體；

第2冷卻板，其設于所述第1冷卻板之上，保持所述被檢查體，并形成有第2制冷劑流路；以及

透明樹脂層，其以覆蓋所述加熱源的方式填充在所述第1冷卻板和所述第2冷卻板之間，使所述加熱源所輸出的光透過。

4.根據權利要求3所述的載置臺，其中，

該載置臺還包括反射部，該反射部設于所述透明樹脂層的側部，用于向所述透明樹脂層的內部反射所述加熱源所輸出的光。

5.根據權利要求4所述的載置臺，其中，

所述反射部延伸至所述第2冷卻板的側部。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的載置臺，其中，

所述第2制冷劑流路形成在所述第2冷卻板的下表面或內部。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的載置臺，其中，

該載置臺還包括吸熱膜，該吸熱膜設于所述第2冷卻板的下表面。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的載置臺，其中，

所述發光元件具有安裝于發光部的透鏡。

9.一種檢查裝置，其以對被檢查體施加載荷的方式按壓探針卡的接觸端子，對所述被檢查體的電子器件進行檢查，其中，

該檢查裝置包括載置所述被檢查體的載置臺，

所述載置臺具有：

第1冷卻板，其形成有第1制冷劑流路；

加熱源，其搭載于所述第1冷卻板，該加熱源具有多個發光元件，用于加熱所述被檢查體；

透過構件，其設于所述加熱源之上，使所述加熱源所輸出的光透過；

第2冷卻板，其設于所述透過構件之上，保持所述被檢查體，并形成有第2制冷劑流路；以及

透明樹脂層，其以覆蓋所述加熱源的方式填充在所述第1冷卻板和所述透過構件之間。

10.一種檢查裝置，其以對被檢查體施加載荷的方式按壓探針卡的接觸端子，對所述被檢查體的電子器件進行檢查，其中，

該檢查裝置包括載置所述被檢查體的載置臺，

所述載置臺具有：

第1冷卻板，其形成有第1制冷劑流路；

加熱源，其搭載于所述第1冷卻板，該加熱源具有多個發光元件，用于加熱所述被檢查體；

第2冷卻板，其設于所述第1冷卻板之上，保持所述被檢查體，并形成有第2制冷劑流路；以及

透明樹脂層，其以覆蓋所述加熱源的方式填充在所述第1冷卻板和所述第2冷卻板之間，使所述加熱源所輸出的光透過。