[發(fā)明專利]光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置及自動補給方法

在審

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• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112229114A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 吳嘯;黃文興
• 申請（專利權）人: 江蘇晉譽達半導體股份有限公司
• 主分類號: F25B45/00
• 分類號: F25B45/00
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

本發(fā)明公開了一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補給管路，所述補給管路的一端伸出箱體外部且設置與光刻機空調(diào)的補給口進行快速對接的快速接頭；所述補給管路上設置有電磁閥、壓力傳感器和單向閥，所述箱體內(nèi)設置有與電磁閥和壓力傳感器導電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導電連接。另外本發(fā)明還公開了使用該自動補給裝置的自動補給方法，該自動補給方法和裝置可以根據(jù)空調(diào)的氟利昂管道的壓力自動補給氟利昂。

技術領域

本發(fā)明涉及一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置及自動補給方法，屬于半導體光刻機的空調(diào)氟利昂補給技術領域。

背景技術

光刻機是一種芯片生產(chǎn)中的必要設備；光刻機的光刻環(huán)境要求比較苛刻，對于外界環(huán)境必須恒溫恒濕，同時光刻機自身的機器內(nèi)部的溫度也必須滿足要求。而由于光刻機的使用年限比較長，對于一些出廠年份比較老的光刻機，這些老的光刻機的空調(diào)還是使用氟利昂，在長期的使用過程中，氟利昂可能出現(xiàn)泄漏的情況，這樣導致空調(diào)的效果降低，光刻機內(nèi)部的溫度就會升高，導致光刻質(zhì)量降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術問題是：提供一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，該自動補給裝置可以根據(jù)空調(diào)的氟利昂管道的壓力自動補給氟利昂。

本發(fā)明所要解決的另一個技術問題是：提供一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給方法，該自動補給方法可以根據(jù)空調(diào)的氟利昂管道的壓力自動補給氟利昂。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是：一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補給管路，所述補給管路的一端伸出箱體外部且設置與光刻機空調(diào)的補給口進行快速對接的快速接頭；所述補給管路上設置有電磁閥、壓力傳感器和單向閥，所述箱體內(nèi)設置有與電磁閥和壓力傳感器導電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導電連接。

作為一種優(yōu)選的方案，所述氟利昂儲罐的數(shù)量為兩個，補給管路分別通過分補給管路與兩個氟利昂儲罐的出口相連接，所述電磁閥的數(shù)量為兩個且分別設置在分補給管路上。

作為一種優(yōu)選的方案，所述箱體為封閉的箱體，所述箱體內(nèi)設置有用來測試箱體內(nèi)氟利昂濃度的氟利昂氣體泄露報警器，所述箱體的側(cè)壁上還設置有抽氣口，所述抽氣口連接抽氣管路系統(tǒng)。

作為一種優(yōu)選的方案，所述抽氣管路系統(tǒng)包括抽氣泵，所述抽氣泵的抽吸口通過第一抽吸管路與抽氣口相連通，所述抽吸泵的排氣口連接排氣管道，該排氣管道連接廢氣儲存罐。

作為一種優(yōu)選的方案，所述抽吸管路上還連接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路與存放所述光刻機空調(diào)的空調(diào)存放腔室連通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均設置有電磁閥，所述空調(diào)存放腔室內(nèi)也設置有氟利昂氣體泄露報警器。

采用了上述技術方案后，本發(fā)明的效果是：由于自動補給裝置包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補給管路，所述補給管路的一端伸出箱體外部且設置與光刻機空調(diào)的補給口進行快速對接的快速接頭；所述補給管路上設置有電磁閥、壓力表和單向閥，所述箱體內(nèi)設置有與電磁閥和壓力傳感器導電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導電連接，因此，該自動補給裝置具備以下優(yōu)點：1.整個自動補給裝置集成在一個箱體內(nèi)，然后通過快速接頭與補給口連接，這樣非常方便固定在光刻機的機架上；2.該自動補給裝置可以實現(xiàn)自動補給，只需要控制器與測壓傳感器進行信號連接，就可以通過監(jiān)控氟利昂管道內(nèi)的壓力來自動補給，而補給管路上的壓力傳感器可以檢測補給管路上的壓力，從而得到氟利昂儲罐內(nèi)的氟利昂量，當氟利昂儲罐內(nèi)的壓力減少時可以提示更換，因此該自動補給裝置可以自動給光刻機空調(diào)進行補給，改造相對簡單。