[發(fā)明專利]光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置及自動補給方法

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• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112229114A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳嘯;黃文興
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇晉譽達半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: F25B45/00
• 分類號: F25B45/00
• 代理公司: 蘇州金項專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32456
• 代理人: 金星

1.一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，其特征在于：包括箱體，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有氟利昂儲罐，氟利昂儲罐的出口連接有補給管路，所述補給管路的一端伸出箱體外部且設(shè)置與光刻機空調(diào)的補給口進行快速對接的快速接頭；所述補給管路上設(shè)置有電磁閥、壓力傳感器和單向閥，所述箱體內(nèi)設(shè)置有與電磁閥和壓力傳感器導(dǎo)電連接的控制器和給控制器供電的電源，所述光刻機空調(diào)的氟利昂管道上的測壓傳感器與所述控制器導(dǎo)電連接。

2.如權(quán)利要求1所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，其特征在于：所述氟利昂儲罐的數(shù)量為兩個，補給管路分別通過分補給管路與兩個氟利昂儲罐的出口相連接，所述電磁閥的數(shù)量為兩個且分別設(shè)置在分補給管路上。

3.如權(quán)利要求2所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，其特征在于：所述箱體為封閉的箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有用來測試箱體內(nèi)氟利昂濃度的氟利昂氣體泄露報警器，所述箱體的側(cè)壁上還設(shè)置有抽氣口，所述抽氣口連接抽氣管路系統(tǒng)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，其特征在于：所述抽氣管路系統(tǒng)包括抽氣泵，所述抽氣泵的抽吸口通過第一抽吸管路與抽氣口相連通，所述抽吸泵的排氣口連接排氣管道，該排氣管道連接廢氣儲存罐。

5.如權(quán)利要求4所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給裝置，其特征在于：所述抽吸管路上還連接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路與存放所述光刻機空調(diào)的空調(diào)存放腔室連通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均設(shè)置有電磁閥，所述空調(diào)存放腔室內(nèi)也設(shè)置有氟利昂氣體泄露報警器。

6.一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給方法，其特征在于：該自動補給方法使用了如權(quán)利要求1至5任一項所述的自動補給裝置，該自動補給方法根據(jù)氟利昂管道上的測壓傳感器測試的內(nèi)部壓力作為自動補給的依據(jù)；

A、當氟利昂管道內(nèi)部壓力低于補給臨界值時，控制器控制補給管路上的電磁閥打開，氟利昂儲罐內(nèi)的氟利昂通過補給管路給氟利昂管道補給；

B、當氟利昂管道上的測壓傳感器檢測其內(nèi)部壓力達到指定壓力值，控制器控制電磁閥關(guān)閉停止補給；

C、當在A工作狀態(tài)下時補給管道上的壓力傳感器檢測檢測補給管道上的壓力低于供應(yīng)臨界值時，控制器關(guān)閉電磁閥并提示更換氟利昂儲罐；

D、當在A工作狀態(tài)下時測壓傳感器檢測其內(nèi)部壓力上升的速率低于最低升壓速率時，控制器控制電磁閥關(guān)閉，同時提示光刻機空調(diào)泄漏嚴重。

7.如權(quán)利要求6所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給方法，其特征在于：該自動補給方法還包括對泄漏的氟利昂進行抽空排出集中處理的處理方法；

在箱體內(nèi)設(shè)置一氟利昂氣體泄露報警器，當氟利昂氣體泄露報警器檢測箱體內(nèi)部的氟利昂濃度升到到指定濃度時，此時打開抽吸泵將箱體內(nèi)的空氣抽吸，將氣態(tài)的氟利昂排出到指定的廢氣儲存罐中收集。

8.如權(quán)利要求7所述的一種光刻機空調(diào)氟利昂的自動補給方法，其特征在于：所述處理方法中還包括對光刻機的空調(diào)存放腔室中泄露的氟利昂進行處理的處理方法，在空調(diào)存放腔室內(nèi)也設(shè)置有氟利昂氣體泄露報警器，并利用第二抽吸管路與抽吸泵連通，當空調(diào)存放腔室內(nèi)的氟利昂氣體泄露報警器檢測其內(nèi)部氟利昂濃度升到到指定濃度時，打開抽吸泵將空調(diào)存放腔室內(nèi)的空氣抽吸，將氣態(tài)的氟利昂排出到指定的廢氣儲存罐中收集。