[發明專利]過濾系統及清洗過濾裝置的方法

在審

• 申請號: 202011287855.9
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN114515464A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 蘇崇誠;楊豐安;鐘易龍
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: B01D35/00
• 分類號: B01D35/00;B01D35/143;B01D35/16;B01D46/66;B01D46/44;B01D46/88
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李春秀

本發明實施例涉及過濾系統及清洗過濾裝置的方法。本發明實施例提供一種清洗過濾裝置的方法，其包括：提供過濾裝置及傳感器，過濾裝置包括殼體及濾芯，殼體與濾芯之間包括第一內腔，濾芯包括第二內腔，其中第一內腔連接到入口及第一出口，第二內腔連接到第二出口，傳感器設置于第一出口或第二出口的一側；開啟入口閥，以使流體通過入口流入第一內腔，并流向第一出口及第二內腔；利用傳感器測量通過第一出口的流體的第一數值；基于第一數值，開啟或關閉第一控制閥；利用傳感器測量通過第二出口的流體的第二數值；及基于第二數值，開啟或關閉第二控制閥。

技術領域

本發明實施例涉及過濾系統及清洗過濾裝置的方法。

背景技術

過濾是指分離懸浮在氣體或液體中固體物質顆粒的一種操作。過濾裝置常用于分離液體中的固體顆粒及/或不純物，也可用于分離氣體中的粉塵及/或不純物。過濾裝置廣泛用于各種化工生產中例如半導體裝置的生產，以潔凈化學品并提升合格率。

發明內容

本發明的一實施例涉及一種清洗過濾裝置的方法，其包括：提供過濾裝置及傳感器，過濾裝置包括殼體及濾芯，殼體連接到入口、第一出口及第二出口，殼體與濾芯之間包括第一內腔，濾芯包括第二內腔，其中第一內腔連接到入口及第一出口，第二內腔連接到第二出口，傳感器設置于第一出口或第二出口的一側；開啟入口閥，以使流體通過入口流入第一內腔，并流向第一出口及第二內腔；利用傳感器測量通過第一出口的流體的第一數值；基于第一數值，開啟或關閉第一控制閥；利用傳感器測量通過第二出口的流體的第二數值；及基于第二數值，開啟或關閉第二控制閥。

本發明的一實施例涉及一種清洗過濾裝置的方法，其包括：提供過濾裝置、第一傳感器及第二傳感器，過濾裝置包括殼體及濾芯，殼體連接到入口、第一出口及第二出口，殼體與濾芯之間包括第一內腔，濾芯包括第二內腔，其中第一內腔連接到入口及第一出口，第二內腔連接到第二出口及取樣口，第一傳感器設置于第一出口的一側，第二傳感器設置于第二出口的一側；開啟入口閥，以使流體通過入口流入第一內腔，并流向第一出口及第二內腔；利用第一傳感器測量通過第一出口的反應物的第一數值；基于第一數值，開啟或關閉第一控制閥；利用取樣口測量通過第二內腔的反應物的第二數值；基于第二數值，開啟或關閉第二控制閥；關閉第一控制閥及第二控制閥；及當第一數值及/或第二數值接近反應物的初始數值時，從入口通入惰性氣體，并通過第二出口排出反應物以凈空第一內腔及第二內腔。

本發明的一實施例涉及一種過濾系統，其包括：過濾裝置及至少一傳感器。過濾裝置包括內腔，內腔連接到控制閥，過濾裝置經布置以過濾反應物。傳感器設置于控制閥的一側，傳感器經布置以測量反應物的數值。

附圖說明

從結合附圖解讀的以下詳細描述最佳理解本揭示的方面。應注意，根據行業標準做法，各種構件未按比例繪制。事實上，為使討論清楚，可任意增大或減小各種構件的尺寸。

圖1繪示根據本發明的一些實施例的化學品供應系統的示意圖。

圖2繪示根據本發明的一些實施例的過濾系統的示意圖。

圖3繪示根據本發明的一些實施例的清洗過濾裝置的方法的流程圖。。

圖4A到圖4E繪示根據本發明的一些實施例的清洗過濾裝置的示意圖。

圖5繪示根據本發明的一些實施例的過濾系統的示意圖。

圖6繪示根據本發明的一些實施例的清洗過濾裝置的方法的流程圖。

具體實施方式