[發明專利]一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 202011281315.X
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112391609B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發明（設計）人: 黎志欣;徐永勝;王爽;李歡;李陽
• 申請（專利權）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C30B29/54;C30B25/00;C30B28/14
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1.一種有機半導體晶體的多溫區化學氣相沉積裝置，包括工作臺(5)，其特征在于，所述工作臺(5)的頂部外壁通過螺栓固定有安裝板(1)，所述安裝板(1)一側外壁的頂部外壁與底部分別開有第一固定孔和第二固定孔，且第一固定孔的內壁插接有第一進氣管(2)，所述第二固定孔的內壁插接有第二進氣管(3)，所述安裝板(1)一側外壁通過螺栓固定有反應筒(7)，所述反應筒(7)的內壁通過螺栓固定有安裝環(16)，所述安裝環(16)的內壁通過螺栓固定有等距離分布的固定桿，所述固定桿的一端通過螺栓固定有連接板(17)，所述連接板(17)的一側外壁通過軸承連接有轉桿(19)，所述轉桿(19)的外壁分別通過螺栓固定有等距離分布的加速板(20)和煽動板(18)，所述反應筒(7)的內壁通過螺栓固定有襯底架(10)，所述襯底架(10)的頂部外壁開有等距離分布的通風孔(15)，且反應筒(7)的外壁通過固定有減壓箱(9)，所述減壓箱(9)的一側外壁通過螺栓固定有吸氣泵(4)，所述吸氣泵(4)的輸入端套接有吸氣斗，所述減壓箱(9)的一側內壁通過螺栓固定有散氣板(24)，所述散氣板(24)的一側外壁開有等距離分布的插接孔，所述插接孔的內壁插接有等距離分布的散氣管(25)，所述散氣管(25)和通風孔(15)配合使用；所述襯底架(10)的頂部外壁通過螺栓固定有等距離分布的襯底(14)，且襯底(14)和煽動板(18)配合使用；所述反應筒(7)的頂部外壁通過螺栓固定有加熱箱(8)，且加熱箱(8)的底部外壁與反應筒(7)的內部相通，減壓箱(9)的一側外壁通過螺栓固定有出氣板(13)；所述反應筒(7)的底部外壁開有安裝孔，且安裝孔的內壁通過螺栓固定有連接管(26)，連接管(26)的一端通過螺栓固定有回收箱(11)；所述回收箱(11)的一邊外壁開有滑槽，且滑槽的內壁通過螺栓固定有滑軌，滑軌的內壁滑動連接有回收抽屜(12)；所述反應筒(7)外壁的兩側均通過螺栓固定有固定環(6)，且固定環(6)的外壁通過螺栓固定有安裝桿(21)，安裝桿(21)的一端通過螺栓固定于工作臺(5)的頂部外壁；所述加速板(20)的形狀設置為S形，且加速板(20)可以對氣體形成漩渦加速效果；所述反應筒(7)的一側外壁通過螺栓固定有過濾箱(23)，且過濾箱(23)的頂部外壁開有等距離分布的排氣孔，排氣孔的內壁插接有排氣筒(22)。