[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011281170.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN112428126B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 逯占文;尹嘉琦;李俁;王勝軍;李健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B41/06;B24B55/00;B24B49/00;B24B41/02;B24B47/06
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1.一種用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，包括支架(1)、定位夾持結(jié)構(gòu)(2)、定點(diǎn)啟停結(jié)構(gòu)(3)、固定架(4)、氣缸(5)、拋光電機(jī)(6)、滑塊(7)和導(dǎo)軌(8)；所述支架(1)的頂側(cè)一端安裝有定位夾持結(jié)構(gòu)(2)，所述支架(1)的邊側(cè)安裝有定點(diǎn)啟停結(jié)構(gòu)(3)，所述固定架(4)焊裝在支架(1)的頂側(cè)另一端，所述固定架(4)的側(cè)面固定有氣缸(5)，所述導(dǎo)軌(8)固定在支架(1)的頂側(cè)，所述滑塊(7)配合扣裝在導(dǎo)軌(8)上，所述拋光電機(jī)(6)配合安裝在滑塊(7)上，所述氣缸(5)的氣動(dòng)桿與拋光電機(jī)(6)通過焊接連接；所述定位夾持結(jié)構(gòu)(2)包括固定盤(21)，所述固定盤(21)的一側(cè)成環(huán)形局陣列固定有三個(gè)限位筒(22)，所述限位筒(22)的內(nèi)部粘貼安裝有伸縮氣管(23)，所述伸縮氣管(23)的一端配合連接有連接管(24)，所述連接管(24)的另一端固定有氣囊(25)，進(jìn)氣缸(26)焊裝在固定盤(21)的圓周面頂側(cè)，第一活塞桿(27)安裝在進(jìn)氣缸(26)內(nèi)，所述進(jìn)氣缸(26)的底端連接固定有連通管(28)，所述連通管(28)分別與三個(gè)伸縮氣管(23)連通，標(biāo)量氣缸(29)焊裝在固定盤(21)的另一側(cè)，第二活塞桿(212)穿設(shè)在標(biāo)量氣缸(29)的一端缸壁內(nèi)，所述第二活塞桿(212)的一端固定有標(biāo)量指針(210)，所述第二活塞桿(212)的另一端外部套裝有膨脹彈簧(213)，所述標(biāo)量氣缸(29)的一端缸壁上焊裝有刻度尺(211)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述標(biāo)量氣缸(29)的底部與連通管(28)連通，所述刻度尺(211)與第二活塞桿(212)平行設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述連通管(28)與進(jìn)氣缸(26)的連接位置上安裝有單向閥，所述連通管(28)的中部安裝有泄壓閥，所述進(jìn)氣缸(26)的底部另一側(cè)安裝有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管上安裝有單向閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述固定盤(21)焊裝在支架(1)的頂側(cè)，所述固定盤(21)的中心軸與拋光電機(jī)(6)的轉(zhuǎn)軸中心軸在同一直線上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述定點(diǎn)啟停結(jié)構(gòu)(3)包括滑軌(31)，所述滑軌(31)上配合扣裝有滑扣(37)，所述滑扣(37)上架設(shè)有限位桿(32)，活動(dòng)板(34)內(nèi)開設(shè)有桿孔，所述限位桿(32)穿設(shè)在桿孔內(nèi)，復(fù)位彈簧(35)套裝在限位桿(32)的一端外部，接觸板(33)和第一導(dǎo)電撥片(311)分別安裝在活動(dòng)板(34)的一側(cè)上下兩端，第二安裝板(313)焊裝在滑扣(37)的底側(cè)一端，第二導(dǎo)電撥片(312)固定在第二安裝板(313)的一側(cè)，第一安裝板(39)焊裝在滑扣(37)的底側(cè)中部，所述第一安裝板(39)和活動(dòng)板(34)的相對(duì)面上均安裝有電極球(310)，警鳴器(38)安裝在第一安裝板(39)的另一側(cè)面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述滑扣(37)上通過螺紋配合穿設(shè)有定位銷(36)，所述定位銷(36)的端面與滑軌(31)的表面相切。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述第一導(dǎo)電撥片(311)、第二導(dǎo)電撥片(312)、拋光電機(jī)(6)和電源通過導(dǎo)線連接串聯(lián)電路，兩所述電極球(310)、警鳴器(38)和儲(chǔ)蓄電池通過導(dǎo)線連接串聯(lián)電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述滑扣(37)上設(shè)置有標(biāo)量線，所述支架(1)的側(cè)面上設(shè)置有刻度線。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體晶體生產(chǎn)的拋光設(shè)備，其特征在于，所述滑塊(7)的一側(cè)安裝有觸動(dòng)桿，所述觸動(dòng)桿與接觸板(33)平行設(shè)置，所述接觸板(33)比第一導(dǎo)電撥片(311)厚1mm。