[發明專利]一種液態源存儲系統

在審

• 申請號: 202011280787.3
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112538615A
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 張明
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/448;C23C16/52
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種液態源存儲系統，其特征在于，包括：

存儲罐體，用于存儲液態的前驅體材料；

壓力檢測器，用于實時檢測所述存儲罐體的內部壓強；

壓力調節器，電連接所述壓力檢測器，用于根據所述壓強，當所述壓強大于等于一第一預設閾值時，對所述存儲罐體的內部進行泄壓直至所述內部壓強小于所述第一預設閾值；及

當所述壓強小于等于一第二預設閾值時，對所述存儲罐體的內部進行增壓直至所述內部壓強大于所述第二預設閾值。

2.如權利要求1所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述液態源存儲系統還包括；

第一單向管道，所述第一單向管道的一端連接一惰性氣體源，另一端連接所述存儲罐體，所述惰性氣體源對應的惰性氣體通過所述第一單向管道進入所述存儲罐體；

第二單向管道，所述第二單向管道的一端連接所述存儲罐體，另一端連接一反應腔室。

3.如權利要求2所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述第一單向管道包括一第一阻通閥；

所述第二單向管道包括一第二阻通閥。

4.如權利要求3所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述第一單向管道通過一第三單向管道連通所述第二單向管道；

所述第三單向管道的一端設置于所述第一阻通閥和所述惰性氣體源之間，所述第三單向管道的另一端設置于所述第二阻通閥和所述反應腔室之間；

所述第三單向管道包括一第三阻通閥。

5.如權利要求1所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述壓力調節器包括第四單向管道和第五單向管道；

所述第四單向管道的一端連接惰性氣體源，另一端連接所述存儲罐體，通過導入所述惰性氣體對所述存儲罐體的內部進行增壓；

所述第五單向管道的一端連接所述存儲罐體，另一端連接一尾氣處理裝置。

6.如權利要求5所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述第四單向管道和第五單向管道分別包括一電控閥門；

所述液態源存儲系統還包括一控制器，所述控制器分別連接每個所述電控閥門和所述壓力檢測器，根據所述壓強控制所述電控閥門的開合。

7.如權利要求1所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述存儲罐體的外部設置有加熱裝置，用于加熱所述前驅體材料。

8.如權利要求1所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述存儲罐體的內部設置有溫度檢測器，用于檢測所述存儲罐體的內部氣體溫度；

所述溫度檢測器的設置位置貼近于所述存儲罐體的頂部。

9.如權利要求1所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述前驅體材料包括雙(二甲基氨基)二乙基硅烷或正硅酸乙酯。

10.如權利要求2所述的液態源存儲系統，其特征在于，所述惰性氣體包括氬氣或氮氣。