[發明專利]一種新型探針卡裝置

在審

• 申請號: 202011272645.2
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN112462108A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 顧良波;王華;季海英;凌儉波;周建青;吳勇佳
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 宋振宇

本發明公開了一種新型探針卡裝置，每根探針上有一個接收裝置，探針固定在升降裝置上，探針通過支架固定。可以根據調試的需要，升起不同的探針，一根或多根，可以方便的定位到影響的pin腳，便于設計分析原因，也可以排除直接其他針對某個模塊測試的影響。

技術領域

本發明涉及晶圓測試技術領域，更具體地說是一種新型探針卡裝置。

背景技術

在晶圓測試中，一般會使用一些轉換裝置，使晶圓最終和測試機的資源相連接，在這些轉換裝置中，最先與晶圓接觸的是探針卡。通常的做法，一般是需要用到多少個pin，就做多少根針，在測試過程中，沒有辦法加上針，也沒有辦法減少針。但是在實際測試過程中，有些測試項，可能會被一些無關的pin干擾，影響測試項測試值的精確性。通常的做法，是通過測試機內部的繼電器或者外圍的繼電器，把電路切斷，這雖然能解決部分問題，但其實探針還是扎在pad上的，這時候的探針雖然沒有電流電壓經過，但是會像一根天線扎在pad上，也會影響測試項測試值的精準性。這個時候，如果要測試精準，那么需要重新去減針，減針單一，周期長，成本高。并且由于pin會復用，在A測試項無關的pin，在B測試項是相關的品。

發明內容

本發明為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種新型探針卡裝置，和傳統的探針卡一樣，針扎在晶圓上，但是針尾不是固定的，是可以伸縮的，并且每根都是可以獨立控制伸縮，其中，具體技術方案為：

每根探針上有一個接收裝置，探針固定在升降裝置上，探針通過支架固定。

上述的一種新型探針卡裝置，其中：晶圓測試默認為高電平，啟動信號為低電平，接收到啟動信號后的探針會被升降裝置固定；固定好后，會給升降裝置信號，升降裝置接收到信號后，把已經固定好的探針整體往上抬，使其與pad不接觸，然后進行調試；調試完后，如有需要，使升起的針再還原。

本發明相對于現有技術具有如下有益效果：可以根據調試的需要，升起不同的探針，一根或多根，可以方便的定位到影響的pin腳，便于設計分析原因，也可以排除直接其他針對某個模塊測試的影響。

附圖說明

圖1為一種新型探針卡裝置的結構示意圖。

圖中：

1升降裝置2支架3接收裝置4探針

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的描述。

pin：引腳；

Arm：傳送臂；

pad：結點。

每根探針4上有一個接收裝置3，默認為高電平，啟動信號為低電平，接收到啟動信號后的針會被升降裝置1固定。固定好后，會給升降裝置1信號，升降裝置1接收到信號后，把已經固定好的探針4整體往上抬，使其與pad不接觸，然后進行調試。調試完后，如有需要，使升起的探針4再還原。這樣，可以根據調試的需要，升起不同的探針4，一根或多根。可以方便的定位到影響的pin腳，便于設計分析原因，也可以排除直接其他針對某個模塊測試的影響。