[發明專利]一種新型探針卡裝置在審
| 申請號： | 202011272645.2 | 申請日： | 2020-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN112462108A | 公開（公告）日： | 2021-03-09 |
| 發明（設計）人： | 顧良波;王華;季海英;凌儉波;周建青;吳勇佳 | 申請（專利權）人： | 上海華嶺集成電路技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海海貝律師事務所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區中國（*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 探針 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型探針卡裝置，其特征在于：每根探針上有一個接收裝置，探針固定在升降裝置上，探針通過支架固定。
2.如權利要求1所述的一種新型探針卡裝置，其特征在于：晶圓測試默認為高電平，啟動信號為低電平，接收到啟動信號后的探針會被升降裝置固定；固定好后，會給升降裝置信號，升降裝置接收到信號后，把已經固定好的探針整體往上抬，使其與pad不接觸，然后進行調試；調試完后，如有需要，使升起的針再還原。
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