[發明專利]一種光器件

在審

• 申請號: 202011272415.6
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN112269276A
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 楊妍;唐波;張鵬;歐祥鵬;孫富君;李彬;劉若男;黃凱;謝玲;劉道群;李志華
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 北京知迪知識產權代理有限公司 11628
• 代理人: 王勝利

1.一種光器件，其特征在于，包括：

基底，所述基底具有光波導、以及位于所述光波導上方的加熱電極，所述加熱電極具有鏤空區域；

熱場調節部，所述熱場調節部位于所述光波導和所述加熱電極之間，所述熱場調節部用于在所述加熱電極加熱過程中，調節所述加熱電極所產生的熱場的傳導范圍，以使所述光波導均勻受熱。

2.根據權利要求1所述的光器件，其特征在于，所述加熱電極為網格型加熱電極或折線型加熱電極。

3.根據權利要求2所述的光器件，其特征在于，當所述加熱電極為網格型加熱電極時，所述熱場調節部包括熱場調節塊；所述熱場調節塊的數量大于或等于所述網格型加熱電極所具有的鏤空區域的數量；

沿著所述基底的厚度方向，每個所述熱場調節塊至少與所述網格型加熱電極所具有的相應鏤空區域重合。

4.根據權利要求1所述的光器件，其特征在于，所述加熱電極為蛇型加熱電極；所述熱場調節部包括熱場調節段，所述熱場調節段的數量大于或等于所述蛇型加熱電極所具有的鏤空區域的數量；

沿著所述基底的厚度方向，每個所述熱場調節段至少與所述蛇型加熱電極所具有的相應鏤空區域重合。

5.根據權利要求1所述的光器件，其特征在于，所述加熱電極為螺旋折線型加熱電極；所述熱場調節部為螺旋折線型熱場調節部；沿所述基底的厚度方向，所述螺旋折線型熱場調節部至少與所述螺旋折線型加熱電極的鏤空區域重合。

6.根據權利要求1所述的光器件，其特征在于，所述熱場調節部為形成在光波導和所述加熱電極之間的熱場調節板。

7.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述熱場調節部的材質為金屬材料、石墨、石墨烯、金剛石或陶瓷材料。

8.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述熱場調節部與所述光波導的垂直距離為0.8μm～1.2μm，和/或，

所述熱場調節部與所述加熱電極的垂直距離為0.1μm～0.5μm。

9.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述光器件還包括介質層，所述介質層形成在所述基底的表面，所述光波導、所述熱場調節部和所述加熱電極形成在所述介質層內。

10.根據權利要求1～6任一項所述的光器件，其特征在于，所述光器件為硅光器件，所述基底為硅襯底。