[發明專利]掩模支撐模板的制造方法及框架一體型掩模的制造方法

有效

• 申請號: 202011262843.0
• 申請日: 2020-11-12
• 公開（公告）號: CN112795867B
• 公開（公告）日: 2023-09-12
• 發明（設計）人: 李炳一;金奉辰
• 申請（專利權）人: 悟勞茂材料公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

本發明涉及掩模支撐模板的制造方法及框架一體型掩模的制造方法。根據本發明的掩模支撐模板的制造方法，該模板用于支撐OLED像素形成用掩模并將掩模對應到框架上，該方法包括：(a)將模板插入模板支撐部上形成的槽的步驟；(b)在模板和模板支撐部的至少一面上粘貼掩模金屬膜的步驟；以及(c)在掩模金屬膜上形成掩模圖案，并切除掩模金屬膜邊緣以制造與模板相同尺寸的掩模的步驟。

技術領域

本發明涉及掩模支撐模板的制造方法及框架一體型掩模的制造方法。更具體地，涉及一種使掩模不發生變形且能夠穩定地得到支撐移動并能夠準確地對準各掩模的掩模支撐模板的制造方法及框架一體型掩模的制造方法。

背景技術

作為OLED(有機發光二極管)制造工藝中形成像素的技術，主要使用精細金屬掩模(Fine?Metal?Mask，FMM)方法，該方法將薄膜形式的金屬掩模(Shadow?Mask，陰影掩模)緊貼于基板并且在所需位置上沉積有機物。

在現有的OLED制造工藝中，將掩模制造成條狀、板狀等后，將掩模焊接固定到OLED像素沉積框架并使用。一個掩模上可以具備與一個顯示器對應的多個單元。另外，為了制造大面積OLED，可將多個掩模固定于OLED像素沉積框架，在固定于框架的過程中，拉伸各個掩模，以使其變得平坦。調節拉伸力以使掩模的整體部分變得平坦是非常困難的作業。特別是，為了使各個單元全部變得平坦，同時對準尺寸僅為數μm至數十μm的掩模圖案，需要微調施加到掩模各側的拉伸力并且實時確認對準狀態的高難度作業要求。

盡管如此，在將多個掩模固定于一個框架過程中，仍然存在掩模之間以及掩模單元之間對準不好的問題。另外，在將掩模焊接固定于框架的過程中，掩模膜的厚度過薄且面積大，因此存在掩模因荷重而下垂或者扭曲的問題；由于焊接過程中在焊接部分產生的皺紋、毛邊(burr)等，導致掩模單元的對準不準的問題等。

在超高畫質的OLED中，現有的QHD畫質為500-600PPI(pixel?per?inch，每英寸像素)，像素的尺寸達到約30-50μm，而4KUHD、8KUHD高畫質具有比之更高的～860PPI，～1600PPI等的分辨率。如此，考慮到超高畫質的OLED的像素尺寸，需要將各單元之間的對準誤差縮減為數μm左右，超出這一誤差將導致產品的不良，所以收率可能極低。因此，需要開發能夠防止掩模的下垂或者扭曲等變形并且使對準精確的技術，以及將掩模固定于框架的技術等。

發明內容

技術問題

因此，本發明是為了解決如上所述的現有技術的各種問題而提出的，其目的在于，提供一種能夠將多個掩模支撐模板同時對應至框架并進行粘貼的掩模支撐模板的制造方法。

此外，本發明的目的在于，提供一種使掩模不發生變形且能夠穩定地得到支撐移動，而且能夠防止掩模的下垂或者扭曲等變形，并能夠準確地對準掩模的掩模支撐模板的制造方法及框架一體型掩模的制造方法。

此外，本發明的目的在于，提供一種能夠顯著地縮短制造時間且顯著地提升收率的框架一體型掩模的制造方法。

技術方案

本發明的上述目的可通過如下掩模支撐模板的制造方法來實現，該模板用于支撐OLED像素形成用掩模并將掩模對應到框架上，該方法包括：(a)將模板插入模板支撐部上形成的槽的步驟；(b)在模板和模板支撐部的至少一面上粘貼掩模金屬膜的步驟；以及(c)在掩模金屬膜上形成掩模圖案，并切除掩模金屬膜邊緣以制造與模板相同尺寸的掩模的步驟。

在步驟(a)和步驟(b)之間可包括提升工藝溫度的步驟，在步驟(b)與步驟(c)之間或步驟(c)之后，還可包括降低工藝溫度的步驟。

如果提升工藝溫度并將掩模金屬膜粘貼在模板上，之后降低工藝溫度，則模板的收縮小于掩模的收縮，從而掩模被施以側面方向的拉伸力。

在步驟(c)之后，還可包括從模板支撐部分離模板和粘貼于模板的一面上的掩模的步驟。