[發(fā)明專利]一種單晶爐氣密性的檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011259857.7 | 申請日： | 2020-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN114486107A | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬博;周澤;王林;張國棟;烏恩;郭志榮;王建平;阿古達木;鐘旭 | 申請（專利權(quán)）人： | 內(nèi)蒙古中環(huán)協(xié)鑫光伏材料有限公司 |
| 主分類號： | G01M3/26 | 分類號： | G01M3/26;C30B15/00 |
| 代理公司： | 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 欒志超 |
| 地址： | 010070 內(nèi)蒙古自*** | 國省代碼： | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶爐 氣密性 檢測 方法 | ||
1.一種單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：包括
S1.關(guān)閉單晶爐的進氣閥與排氣閥；
S2.對單晶爐進行抽真空，且持續(xù)時間為T1，完畢后檢測單晶爐內(nèi)的實際壓強；
S3.對比單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量與標準壓強變化量,若單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量≥標準壓強變化量，則直接執(zhí)行步驟S4；
S4.保持單晶爐閉氣，且持續(xù)時間為T2，完畢后再次檢測單晶爐內(nèi)的實際壓強；
S5.對比、判斷單晶爐內(nèi)的實際壓強是否增大，如果否，則判定該單晶爐氣密性良好；如果是，則判定單晶爐氣密性差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：
在上述步驟S3中，若單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量＜標準壓強變化量時，則執(zhí)行步驟S6，所述步驟S6包括:
S61.繼續(xù)抽真空，且持續(xù)時間為T3,完畢后檢測單晶爐內(nèi)的實際壓強；
S62.對比單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量與標準壓強變化量，若單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量≥標準壓強變化量，則再依次執(zhí)行步驟S4、S5。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：在所述步驟S62中，所述實際壓強變化量為T1+T3時間內(nèi)單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量，對應(yīng)的，所述標準壓強變化量為T1+T3時間內(nèi)的標準壓強變化量；或，所述實際壓強變化量為T3時間內(nèi)單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量，對應(yīng)的，所述標準壓強變化量為T3時間內(nèi)的標準壓強變化量。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：在所述步驟S62中，若單晶爐內(nèi)的實際壓強變化量＜標準壓強變化量時，則判定該單晶爐的氣密性差。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：所述T3≥T1。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：所述T3設(shè)置為6-12min。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：T3設(shè)置為7、8、9、10或11min。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：所述T1設(shè)置為4-8min。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：所述T1設(shè)置為5、6或7min。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項所述的單晶爐氣密性的檢測方法，其特征在于：所述T2≤T1；優(yōu)選的，所述T2設(shè)置為3-5min。
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