[發(fā)明專利]一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011259392.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-11
• 公開（公告）號(hào): CN112382590A
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹宇軒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華天科技（南京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 姚詠華

1.一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，包括：底座(1)、固定座(2)、相機(jī)(3)、校準(zhǔn)塊(5)、放置頭(6)和撿拾頭(16)；

放置頭(6)設(shè)置于撿拾頭(16)上方；

放置頭(6)固定在固定座(2)上；固定座(2)安裝在底座(1)上；

相機(jī)(3)設(shè)置于放置頭(6)和撿拾頭(16)之間交接位置的X方向；

校準(zhǔn)塊(5)，用于在X方向觀測(cè)放置頭(6)和撿拾頭(16)之間交接位置的Y方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，固定座(2)通過固定螺釘(4)固定在底座(1)的凹槽中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，凹槽的尺寸大于固定座(2)的尺寸，固定座能夠在凹槽中調(diào)整位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，底座(1)的X方向螺紋安裝有X方向頂絲(8)，Y方向螺紋安裝有Y方向頂絲(10)；X方向頂絲(8)和Y方向頂絲(10)的端部分別頂在固定座(2)的X方向側(cè)面和Y方向側(cè)面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，X方向和Y方向?yàn)槿S坐標(biāo)系中相互垂直的兩個(gè)方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，X方向和Y方向?yàn)榫怪庇谪Q直方向的兩個(gè)方向，且X方向和Y方向相互垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，校準(zhǔn)塊(5)為潛望鏡結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，校準(zhǔn)塊(5)上設(shè)有金屬片；校準(zhǔn)塊(5)通過磁鐵(18)吸附在撿拾頭(16)上；校準(zhǔn)塊(5)的入光口正對(duì)放置頭(6)和撿拾頭(16)之間的交接位置；校準(zhǔn)塊(5)的出光口位于X方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，其特征在于，固定座(2)通過兩個(gè)位于放置頭(6)兩側(cè)的固定螺釘(4)安裝在底座(1)上。

10.一種編帶設(shè)備交手校正方法，其特征在于，基于權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的一種編帶設(shè)備交手校正系統(tǒng)，包括：

松開固定座(2)，調(diào)節(jié)X方向頂絲(8)、Y方向頂絲(10)，通過相機(jī)(3)觀察X方向放置頭(6)和撿拾頭(16)是否對(duì)齊、通過校準(zhǔn)塊(5)觀察Y方向放置頭(6)和撿拾頭(16)是否對(duì)齊，X方向和Y方向?qū)R后，固定固定座(2)，完成交手校正。